公开(公告)号：CN1833779A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200610054724.X

申请日：2006-03-02

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 池田文彦 ,  楫野一树 ,  细川章宏 ,  吉田顺一

IPC: B05B1/04 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种能够由狭缝喷嘴以稳定的涂敷宽度涂敷处理液的技术。本发明的狭缝喷嘴的侧板(721)的下端部(721a)的厚度(d)为0.7mm以下。因此，即使在狭缝喷嘴(42)的移动速度慢的时候、或抗蚀液90的粘度低的时候，能够缩小被涂敷的抗蚀液90向外侧的膨胀宽度。因此，能够抑制抗蚀液90的涂敷宽度的变动。

公开(公告)号：CN100581657C

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200610054724.X

申请日：2006-03-02

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 池田文彦 ,  楫野一树 ,  细川章宏 ,  吉田顺一

IPC: B05B1/04 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供一种能够由狭缝喷嘴以稳定的涂敷宽度涂敷处理液的技术。本发明的狭缝喷嘴的侧板(721)的下端部(721a)的厚度(d)为0.7mm以下。因此，即使在狭缝喷嘴(42)的移动速度慢的时候、或抗蚀液90的粘度低的时候，能够缩小被涂敷的抗蚀液90向外侧的膨胀宽度。因此，能够抑制抗蚀液90的涂敷宽度的变动。