涂敷装置和涂敷方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1299836C

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN03153921.1

    申请日:2003-08-20

    Abstract: 本发明提供一种能够以良好的精度将液体涂敷于涂敷区域的涂敷装置和涂敷方法。在使掩模(4)位于试涂位置的状态下,一边使喷嘴沿X方向作往复移动一边将有机EL材料朝向掩模(4)喷出,在掩模(4)的内周面上形成涂敷轨迹(CL)。接着,利用CCD照相机对该涂敷轨迹(CL)的光学像(Ic1)进行拍摄,将表示该涂敷轨迹(CL)的图像数据暂时地存储于控制部的存储器中。另外,在使掩模(4)位于涂敷位置的状态下,利用CCD照相机对基板(1)的槽(11)的光学像(I11)进行拍摄,将表示该槽(11)的图像数据暂时地存储控制部的存储器中。然后,根据这些图像数据,以涂敷轨迹(CL)与槽(11)相一致的方式,使基板(1)定位。然后,进行涂敷处理。

    有机EL涂敷装置及方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101058481B

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN200710001928.1

    申请日:2003-07-07

    Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液,从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上,安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米,可以收集异物和凝胶化的溶解物等,阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。

    有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置

    公开(公告)号:CN1469690A

    公开(公告)日:2004-01-21

    申请号:CN03137196.5

    申请日:2003-06-09

    CPC classification number: H01L27/3295

    Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制法和有机EL显示装置,在向基板上形成的分隔壁之间涂布有机EL材料制造有机EL元件时,能够防止相邻的分隔壁之间的有机EL材料发生混色。其解决方法是:在有选择地向各个元件空间SP供给空穴输送材料之后,对基板加热处理使空穴输送材料干燥,形成空穴输送层。由此防止在分隔壁顶部附着空穴输送材料。然后,对其分隔壁顶部实行憎液化处理。更具体说,在分隔壁的顶部形成含氟层。而在此憎液化处理之后,向分隔壁之间供给有机EL材料。此时,由于含氟层的存在,阻止有机EL材料向其他分隔壁之间的移动,有效防止了多种颜色的有机EL材料发生混色。

    有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置

    公开(公告)号:CN100375314C

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN03137196.5

    申请日:2003-06-09

    CPC classification number: H01L27/3295

    Abstract: 本发明提供一种有机EL元件的制法和有机EL显示装置,在向基板上形成的分隔壁之间涂布有机EL材料制造有机EL元件时,能够防止相邻的分隔壁之间的有机EL材料发生混色。其解决方法是:在有选择地向各个元件空间SP供给空穴输送材料之后,对基板加热处理使空穴输送材料干燥,形成空穴输送层。由此防止在分隔壁顶部附着空穴输送材料。然后,对其分隔壁顶部实行憎液化处理。更具体说,在分隔壁的顶部形成含氟层。而在此憎液化处理之后,向分隔壁之间供给有机EL材料。此时,由于含氟层的存在,阻止有机EL材料向其他分隔壁之间的移动,有效防止了多种颜色的有机EL材料发生混色。

    有机EL涂敷装置及方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1472993A

    公开(公告)日:2004-02-04

    申请号:CN03146547.1

    申请日:2003-07-07

    Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液,从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上,安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米,可以收集异物和凝胶化的溶解物等,阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。

    有机EL涂敷装置及方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101058481A

    公开(公告)日:2007-10-24

    申请号:CN200710001928.1

    申请日:2003-07-07

    Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液,从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上,安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米,可以收集异物和凝胶化的溶解物等,阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。

    有机EL涂敷装置及方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100336241C

    公开(公告)日:2007-09-05

    申请号:CN03146547.1

    申请日:2003-07-07

    Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液,从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上,安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米,可以收集异物和凝胶化的溶解物等,阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。

    涂敷装置和涂敷方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1485145A

    公开(公告)日:2004-03-31

    申请号:CN03153921.1

    申请日:2003-08-20

    Abstract: 本发明提供一种能够以良好的精度将液体涂敷于涂敷区域的涂敷装置和涂敷方法。在使掩模(4)位于试涂位置的状态下,一边使喷嘴沿X方向作往复移动一边将有机EL材料朝向掩模(4)喷出,在掩模(4)的内周面上形成涂敷轨迹(CL)。接着,利用CCD照相机对该涂敷轨迹(CL)的光学像(Ic1)进行拍摄,将表示该涂敷轨迹(CL)的图像数据暂时地存储于控制部的存储器中。另外,在使掩模(4)位于涂敷位置的状态下,利用CCD照相机对基板(1)的槽(11)的光学像(I11)进行拍摄,将表示该槽(11)的图像数据暂时地存储控制部的存储器中。然后,根据这些图像数据,以涂敷轨迹(CL)与槽(11)相一致的方式,使基板(1)定位。然后,进行涂敷处理。

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