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公开(公告)号：CN109262412B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201811099677.X
申请日：2018-09-20
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及半导体检测领域，针对影响检测作业效率的问题，提供了一种磨针台驱动结构该技术方案如下：包括滑动连接于磨针台上的联动件、驱动联动件滑动的联动驱动件；一种全自动探针台，包括外壳、探针、基座，基座上滑动连接有主支架，主支架上滑动连接有副支架，副支架沿竖直方向滑动连接有工作台，基座设有驱动主支架滑动的主驱动件，主支架上设有驱动副支架滑动的副驱动件，副支架上设有驱动工作台升降以使工作台与探针抵接或分离的竖直驱动件，副支架上沿竖直方向滑动连接有磨针台，磨针台设有磨针台驱动结构。无需拆卸探针以及人工打磨探针，使得探针的维护作业效率较高，进而使得检测作业的持续性得到保证，提高了检测作业的效果。
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公开(公告)号：CN117727648A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311667588.1
申请日：2023-12-05
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种多工位测试打点装置，包括机架、测试打点组件和转动设置于机架的转台，机架的上方设置有测试工位和烘烤工位；且转台间隔设置有第一载片台和第二载片台，第一载片台能在测试工位和烘烤工位之间切换，第二载片台能在测试工位和烘烤工位之间切换；且第一载片台位于测试工位和烘烤工位两者之一时，第二载片台位于测试工位和烘烤工位两者中的另一个；测试打点组件包括测试件和打点件；测试件和打点件均可沿机架的第一方向移动，并可沿机架的第二方向移动。通过使体积较小的测试件和打点件沿第一方向和第二方向移动，进而配合处于测试工位的载片台对工件进行测试和打点，其可以缩小测试打点装置的体积，降低测试打点装置的制造成本。
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公开(公告)号：CN117705288A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311604068.6
申请日：2023-11-27
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Inventor： 吴贵阳
Abstract: 本发明公开一种温度测量装置和测试设备，其中，温度测量装置包括：基座，设有带开口的第一通道，开口用于朝向待测物；温度传感器，设于第一通道，待测物表面的热辐射经开口传递至温度传感器；第一半反半透镜，固定于第一通道的内部；激光光源，设于第一通道；第二半反半透镜，固定于第一通道的内部，激光光源发出的激光光束依次通过第二半反半透镜和第一半反半透镜经开口照射至待测物；相机组件，设于第二半反半透镜的一侧，用于发出照明光束并采集待测物的图像，照明光束依次通过第二半反半透镜和第一半反半透镜经开口照射至待测物，其中，激光光束和照明光束同轴设置。本发明技术方案提供了一种不易造成待测物损坏的温度测量装置。
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公开(公告)号：CN109188868B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201811097650.7
申请日：2018-09-20
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及晶圆上下料技术领域，更具体地说，它涉及一种晶圆上下料装置及应用其的光刻机，其技术方案要点是：一种晶圆上下料装置，其包括机架,所述机架上设有转盘和第一驱动机构;所述转盘上设有料盒安装位，所述料盒安装位的数量为两个以上、且绕所述转盘的中心线依次排布，所述转盘用于在转动时带动料盒安装位上的料盒依次运动至可供第一驱动机构驱动的位置;所述第一驱动机构用于驱动料盒运动，以在上料时使料盒内的晶圆依次位于上料工位，或在下料时使料盒内的晶圆收纳位依次位于下料工位。根据本发明提供的技术方案，其可以减少料盒的更换频率，提高工作效率，实现自动化生产。
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公开(公告)号：CN117471392A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311821913.5
申请日：2023-12-27
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本申请实施例提供了一种探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质，属于半导体测试技术领域。方法包括：获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像并框选出目标电子元件的扎针图；将扎针图与基准模板对齐；其中，基准模板由对未被被测探针扎针的第二图像中的目标电子元件框选得到；对扎针图和基准模板建立灰度矩阵，根据灰度矩阵确定被测探针的针尖形状；从第一图像中确定被测探针所在方向的多条针尖垂线，并对多条针尖垂线进行逐行检测直至检测到目标灰度点，将目标灰度点所在的位置作为针尖位置；基于针尖形状和针尖位置，得到探针针尖检测结果。本申请能够提高探针针尖检测结果的准确性和识别的效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116713965A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310648771.0
申请日：2023-06-02
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种打点器，包括：外壳，具有运动腔，所述外壳具有第一磁极；运动件，设置于所述运动腔中；通电线圈，设置于所述运动腔中，所述通电线圈围绕于所述运动件，所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场，且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换；当所述通电线圈产生所述第一磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极；当所述通电线圈产生所述第二磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极，所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。本发明的打点器，能够具有较高的打点效率。
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公开(公告)号：CN116519270A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310415717.1
申请日：2023-04-12
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Inventor： 吴贵阳
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光学测试仪及光学测试设备。本发明的光学测试仪包括积分球、转接组件、第一收光组件和CCD组件，积分球限定出反射腔、第一入光孔和第一出光孔，第一入光孔和第一出光孔均与反射腔连通；转接组件限定有分光腔、第一分光孔和第二分光孔，分光腔和反射腔通过第一出光孔连通；第一收光组件通过第一分光孔与分光腔连通；CCD组件通过第二分光孔与分光腔连通；转接组件包括第一分光件，第一分光件设置于分光腔内，第一分光件能够将从第一出光孔射向第一分光件的入射光线分化为射向第一分光孔的第一光线和射向第二分光孔的第二光线。该光学测试仪的CCD组件和第一收光组件为一体化设计。
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公开(公告)号：CN114655708A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011534835.7
申请日：2020-12-23
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种分拣装置及其挑拣模块，所述挑拣模块包括：可旋转的摆臂底座；分别连接在所述摆臂底座的两端上方的摆臂组件，每个所述摆臂组件包括：可滑动地连接在所述摆臂底座上的吸嘴座、以及设置在所述吸嘴座上的吸嘴组件；与所述摆臂底座连接并驱动所述摆臂底座旋转、使得所述吸嘴组件在第一位置和第二位置之间切换的摆臂底座驱动装置；以及拨动组件，包括拨杆、以及驱动所述拨杆运动的拨杆驱动装置，所述拨杆与处于第二位置的所述吸嘴组件配合并带动所述吸嘴组件的吸嘴座滑动以放料。可实现轻量化，并提高效率。
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公开(公告)号：CN114236185A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010940852.4
申请日：2020-09-09
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电激元器件光信号采集装置。所述电激元器件光信号采集装置包括，固定连接于机架的测试电极，用于对电激元器件导通电流；支撑部，沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极；采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式，便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度，从而保证测试的准确度。
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公开(公告)号：CN113900002A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202010638842.5
申请日：2020-07-06
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Inventor： 吴贵阳
Abstract: 本发明公开了一种待测并联通路检测方法。一种待测并联通路检测方法，激励信号发射部连接于待测并联通路的信号输入端口；反馈信号接收部连接于待测并联通路的信号接收端口；激励信号发射部向一条通路发射信号单元；对于每一个发射信号单元，反馈信号接收部的预设接收端口接收反馈信号；当反馈信号接收部有且仅有一个预设接收端口接收到合格的反馈信号时，判定所述发射信号单元对应的通路正常；重复上述单一通路的检测方法，完成待测并联通路中所有通路的检测。
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