公开(公告)号：CN102194572A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110049686.X

申请日：2011-02-28

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  丰田治 ,  上田知史

IPC: H01G5/16 ,  H01G5/40

CPC classification number: H01G5/18

Abstract: 一种MEMS设备，包括：衬底；固定电极，其被设置在该衬底上并且允许信号通过其中；可移动电极，其以面向该固定电极的方式设置在该衬底上方并且允许信号通过其中；驱动线，其被设置在该衬底内部并且被用作施加驱动电极以移置该可移动电极；以及第一电阻，其被设置在形成于该衬底内部的第一过孔中，并且被用作切断信号。通过第一电阻将固定电极或者可移动电极连接到驱动线。

公开(公告)号：CN102190275A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110043026.0

申请日：2011-02-21

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  胜木隆史 ,  丰田治 ,  上田知史

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81C1/00698 ,  B81B2201/0221 ,  H01G5/18

Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

公开(公告)号：CN101599446B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200910142735.7

申请日：2009-06-02

Applicant: 太阳诱电株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 上田知史 ,  宓晓宇 ,  高桥岳雄

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/48 ,  H01L23/15 ,  H01L23/498 ,  H01L23/13 ,  H01F37/00

CPC classification number: H05K3/281 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/112 ,  H05K1/162 ,  H05K3/246 ,  H05K3/4611 ,  H05K3/4629 ,  H05K2201/017 ,  H05K2201/0347 ,  H05K2203/0278 ,  H05K2203/063 ,  Y10T428/24612 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种电子部件及其制造方法。其目的在于提高使用了多层陶瓷基板的电子部件的制造成品率。该电子部件的制造方法的特征在于，该制造方法具有以下步骤：在层叠的生片(30a～30c)的下表面印刷与内部配线(22)电连接的导体图案(24)的步骤；在最下层的生片(30c)的下表面重叠在与导体图案(24)对应的区域形成有开口部(32)的开口生片(30d)的步骤；在层叠方向上对重叠有开口生片(30d)的层叠生片(30)进行加压的步骤；通过将层叠生片(30)和导体图案(24)一起焙烧来形成多层陶瓷基板(40)的步骤；以及在多层陶瓷基板(40)的上表面设置与内部配线(22)电连接的电子元件的步骤。

公开(公告)号：CN1925321B

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200610128807.9

申请日：2006-08-30

Applicant: 太阳诱电株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  水野义博 ,  松本刚 ,  奥田久雄 ,  上田知史 ,  高桥岳雄

IPC: H03H7/00

CPC classification number: H01L27/0688 ,  H01F17/0006 ,  H01L23/5227 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种集成电子器件及其制造方法，该集成电子器件包括衬底、无源元件、用于外部连接的焊盘和三维布线。无源元件包括设置在衬底上的多级线圈电感器。多级线圈电感器具有设置在多层中的多个线圈。相邻的线圈线彼此隔开。三维布线包括在衬底上延伸的第一布线区、与衬底隔开但沿着衬底延伸的第二布线区以及与第一布线区和第二布线区连接的第三布线区。

公开(公告)号：CN101894808A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN201010184335.5

申请日：2010-05-21

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 中谷忠司 ,  井上广章 ,  山田齐 ,  上田知史

IPC: H01L23/12 ,  H01L21/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/014 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/30105

Abstract: 本发明提供了一种电子装置及其制造方法。该电子装置包括衬底；设置在衬底上方的可移动电极；设置为面向可移动电极的静止电极；设置在衬底上并且围绕可移动电极和静止电极的墙部分；膜构件，其固定到在可移动电极和静止电极上方的墙部分，并且膜构件密封包括可移动电极和静止电极的空间；以及支撑部分，除了可移动电极和静止电极之外，还将支撑部分设置在衬底上的墙部分的内侧，以从空间的内部支撑膜构件。

公开(公告)号：CN100549754C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200610009215.5

申请日：2006-02-14

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 高马悟觉 ,  壶井修 ,  曾根田弘光 ,  上田知史

IPC: G02B26/08 ,  H01L21/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/058

Abstract: 一种微摆动元件包括框体、可移动功能部分以及用于连接框体与可移动功能部分的扭转连接部分。微摆动元件还包括第一和第二梳齿电极，用于产生使可移动功能部分绕扭转连接部分摆动运动的驱动力。第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构，其中第一导体和第二导体相互电连接。第二梳齿电极包括多个第二电极齿，在非工作状态下，第二电极齿不面向第一电极齿的第二导体，但是面向第一导体。第二电极齿在摆动运动的方向上长于第一导体。

公开(公告)号：CN101515503A

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200910007666.9

申请日：2009-02-20

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  宓晓宇 ,  上田知史

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16

Abstract: 本发明提供一种可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备。可变电容器包括衬底、信号线，其设置在衬底的表面上用于馈送信号、接地电极，其设置在衬底的表面上、以及可动电极，其设置成与信号线和接地电极相对，可动电极可操作地朝着信号线和接地电极和远离信号线和接地电极移动。可动电极能被可动电极和信号线之间和可动电极和信号线之间的静电吸引移位，静电吸引由施加到可动电极的电压产生，并且可动电极的移位量根据电压量变化。

公开(公告)号：CN100472754C

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN200610148556.0

申请日：2006-11-16

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 水野义博 ,  宓晓宇 ,  松本刚 ,  奥田久雄 ,  上田知史

IPC: H01L21/82 ,  H01L21/768 ,  H01L27/00 ,  H01L23/522 ,  H03H7/00

CPC classification number: H05K1/162 ,  H01F17/0006 ,  H01L23/5223 ,  H01L23/5227 ,  H01L27/016 ,  H01L2924/0002 ,  H05K1/165 ,  H05K3/108 ,  H05K3/4644 ,  H05K3/4647 ,  H05K3/465 ,  H05K2201/09563 ,  H05K2201/09763 ,  H05K2201/09845 ,  H05K2203/0733 ,  H05K2203/1476 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种电子元件包括基底材料、电容器单元和布线部分。该电容器单元具有包括第一电极部分、第二电极部分和电介质部分的堆叠结构，其中该第一电极部分设置在该基底材料上，该第二电极部分包括面向该第一电极部分的第一表面和与该第一表面相对的第二表面，该电介质部分位于上述电极部分之间。该布线部分包括通孔部分，该通孔部分具有位于该基底材料侧的表面，并且该通孔部分经由位于该基底材料侧的表面接合至该第二电极部分的第二表面。该通孔部分的位于该基底材料侧的表面包括从该第二电极部分的第二表面的外围部分向外延伸的延伸部分。

公开(公告)号：CN101256899A

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200810081333.6

申请日：2008-02-25

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  上田知史

IPC: H01G5/00 ,  B81B3/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01G5/16 ,  H01G5/011 ,  H01G5/06 ,  H03J3/20

Abstract: 一种可移动微器件，包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极，其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿，而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。

公开(公告)号：CN101231910A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810008929.3

申请日：2008-01-25

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  米泽游 ,  宓晓宇 ,  上田知史

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16 ,  H01G5/01 ,  H01G5/04 ,  H01G5/18

Abstract: 本发明提供一种可变电容器，其适于抑制驱动电压特性的波动并用于实现静态电容量的更大变化率。该可变电容器包括固定电极和可动电极。该固定电极包括第一相对面，同时该可动电极包括面对该第一相对面的第二相对面。该可动电极进一步包括朝向该固定电极突出的弯曲部分。该可变电容器还包括设置在该第一相对面上的介电图案。