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公开(公告)号：CN105228946B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201480027517.8
申请日：2014-03-17
申请人： 维斯普瑞公司
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
摘要： 提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中，在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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公开(公告)号：CN103843089B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201180073760.X
申请日：2011-10-19
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01L28/60 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0078 , H01H2059/0045 , H01H2059/0072 , H01L21/6835 , H01L21/687 , H02N1/006
摘要： 提供能够抑制因热膨胀而引起的可动电极位移的可动电气设备。可动电气设备具有：支撑衬底；第一以及第二固定电极，其形成于支撑衬底上，具有相对于支撑衬底的表面大致垂直的相向电极面，在相向电极面之间划定内腔；可动部，其具有可动电极和弯曲弹簧部，可动电极的第一端接近第一固定电极，第二端接近第二固定电极，弯曲弹簧部与可动电极的第一端、第二端的至少一方连续，且包含向可动电极的厚度方向弯曲的部分；第一、第二固定件，其配置在支撑衬底上，支撑可动部的两端。
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公开(公告)号：CN105263853A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480032389.6
申请日：2014-05-30
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01H59/0009
摘要： 本发明一般性地涉及MEMS DVC。MEMS DVC具有RF电极并且形成于CMOS衬底之上。为了降低RF信号中的噪声，连接在波形控制器和MEMS元件的电极之间的多晶硅电阻器可以由被隔离的p阱或被隔离的n阱环绕。被隔离的阱耦合到被布置在多晶硅电阻器和MEMS元件之间的RF接地屏蔽层。由于存在环绕多晶硅电阻器的被隔离的阱，衬底电阻不影响MEMS DVC中的每个MEMS元件的动态特性，并且RF信号中的噪声被降低。
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公开(公告)号：CN105229764A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480022523.4
申请日：2014-04-02
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 , 拉马丹·A·哈拉比
CPC分类号： H01G5/011 , H01G5/013 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009
摘要： 本发明一般性地涉及一种MEMS DVC，其具有在RF电极和使板移动的一个或更多个其他电极之间的屏蔽电极结构。该屏蔽电极结构可以接地，并且基本上阻挡或屏蔽RF电极以使其不受使板移动的一个或更多个电极影响。通过屏蔽RF电极，减少了RF电极到使板移动的一个或更多个电极的耦合并且减小或甚至消除了电容调节。
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公开(公告)号：CN104798154A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060719.8
申请日：2013-09-20
申请人： 维斯普瑞公司
IPC分类号： H01G5/16
CPC分类号： H01G5/16 , B81B3/0008 , B81B3/0016 , B81B3/0051 , B81B2201/0221 , B81C1/00166 , B81C1/00476 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , H01G5/18 , H01G7/00
摘要： 用于微机电系统(MEMS)可调电容器的系统，设备和方法，所述电容器包括附着到基底的固定驱动电极，附着到所述基底的固定电容电极；以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极移动的活动部件。所述活动部件包括：定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极和定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极。所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开，以及所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开。
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公开(公告)号：CN103890635A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280051537.X
申请日：2012-10-17
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G01J1/26 , G02B26/001 , H01G5/18
摘要： 本发明提供用于EMS装置的系统、方法及设备。在一方面中，EMS装置包含至少一个可移动层，所述可移动层经配置以相对于一个或一个以上电极移动。所述至少一个可移动层可包含第一导电层、第二导电层及安置于所述第一导电层与所述第二导电层之间的非导电层。在一些实施方案中，所述可移动层可包含经由所述非导电层电连接所述第一导电层与所述第二导电层的至少一个导电通孔。
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公开(公告)号：CN103843090A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280042873.8
申请日：2012-08-31
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 罗伯特·加迪 , 理查德·L·奈普 , 罗伯托·彼得勒斯·范-卡普恩 , 阿奈兹·乌纳穆诺
CPC分类号： H01L28/60 , B81B3/0086 , B81B2201/016 , B81B2207/015 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01G5/40 , H01H59/0009 , H03K17/162 , H03K17/6872 , H03K2217/0009 , H03K2217/0036 , H03K2217/009
摘要： 本发明涉及一种用于高频通信的使RF？MEMS装置与衬底和驱动电路隔离的结构，串联和并联的DVC结构，以及更小的MEMS阵列。半导体装置具有一个或多个单元，所述单元其中有多个MEMS装置。MEMS装置通过施加电偏压到上拉电极或下拉电极在距RF电极第一距离的第一位置和距RF电极第二距离的第二位置之间移动MEMS装置的开关元件来操作，所述第二距离不同于所述第一距离。上拉电极和/或下拉电极可以耦接至使MEMS装置与衬底隔离的电阻。
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公开(公告)号：CN103430260A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201180069245.4
申请日：2011-03-16
申请人： 富士通株式会社
摘要： 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有：给予物理性支承的支承基板；一对固定部件，其被形成在支承基板上，并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部；可动电极，其被一对固定部件的支承部支承，对置的第一侧面和第二侧面构成电极面，并且至少一部分能够弹性变形；第一固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面；以及第二固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。
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公开(公告)号：CN102985832A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201080068027.4
申请日：2010-05-12
IPC分类号： G01P15/125 , H01G5/011 , H01G5/18
CPC分类号： H01G5/18 , G01P15/125 , G01P2015/0808 , G01P2015/0814 , H01G5/011
摘要： 加速度计100可以包括具有位于其上面的包括多个定子电极110（例如A、B和C）的定子电极阵列106的支撑结构104；以及与定子电极阵列平行地定位且能够实现与之平行的位移的检验质量102。面对定子电极阵列的转换器电极阵列108可以包括可以位于检验质量上的多个转换器电极112（例如a和b）。还包括的是用以向由定子和转换器电极形成的六个电容施加驱动电压的驱动电路114。由驱动电压施加于检验质量上的合力保持恒定于约零。
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