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公开(公告)号：CN117133848A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310596926.0
申请日：2023-05-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L33/48 , H01L33/00 , H01L25/075 , H01L21/687
Abstract: 本发明的技术问题在于，提供一种可以使施加于加压对象物的载荷量均匀的基板处理装置。本发明的基板处理装置具有：配置有作为加压对象物的基板(2)的下夹具板(46)、和具有设置有支承下夹具板(46)的多个柱状构件(50)的设置部(52)的支承构件(45)，多个柱状构件(50)能够根据施加于下夹具板(46)的载荷的面内分布设置于设置部(52)。
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公开(公告)号：CN117133849A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310597254.5
申请日：2023-05-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L33/48 , H01L33/00 , H01L25/075 , H01L21/687
Abstract: 本发明的技术问题在于，提供一种可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。本发明的基板处理装置具有：配置有加压对象物即基板(2)的下夹具板(46)、对配置于下夹具板(46)的基板(2)进行加压的上夹具板(44)、以及支承下夹具板(46)并对下夹具板(46)赋予与施加于下夹具板(46)的载荷的面内分布对应的支承力的支承构件(45)。
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公开(公告)号：CN117133705A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310607005.X
申请日：2023-05-26
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L33/00 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。基板处理装置(10)具有供作为加压对象物的基板(2)配置的下夹具板(46)、支承下夹具板(46)的多个柱状部件(50)、以及与下夹具板(46)直接或间接地抵接且散热性比多个柱状部件(50)高的散热用柱(53)。
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公开(公告)号：CN110581080B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201910489656.7
申请日：2019-06-06
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/607 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种超声波接合装置及超声波接合方法，即使在配线间隔狭窄的情况下，也不会发生短路不良等，易于实现平面部件之间的电连接。超声波接合装置具有：供设置应接合的第一平面部件和第二平面部件的载置台；超声波变幅杆，其具有压靠第一平面部件和所述第二平面部件的叠层部分的按压部。载置台具有：供设置第一平面部件的低位侧表面；供设置第二平面部件的高位侧表面，其相对于低位侧表面以规定的台阶高度处于高的位置；和台阶壁面，其位于低位侧表面和高位侧表面的边界。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115210855A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202180018607.0
申请日：2021-03-04
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明提供能够在安装基板上稳定地制造元件阵列的元件阵列的加压装置、制造装置和制造方法。元件阵列的加压装置(10)包括具有加压部(12)的加压板(11)，加压部(12)对配置于安装基板(30)的多个元件(40a～40c)构成的元件阵列(40)进行加压。加压部(12)具有与加压板(11)的表面相比表面精度高的板状的硬质件(13)。
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公开(公告)号：CN110581080A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201910489656.7
申请日：2019-06-06
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/607 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种超声波接合装置及超声波接合方法，即使在配线间隔狭窄的情况下，也不会发生短路不良等，易于实现平面部件之间的电连接。超声波接合装置具有：供设置应接合的第一平面部件和第二平面部件的载置台；超声波变幅杆，其具有压靠第一平面部件和所述第二平面部件的叠层部分的按压部。载置台具有：供设置第一平面部件的低位侧表面；供设置第二平面部件的高位侧表面，其相对于低位侧表面以规定的台阶高度处于高的位置；和台阶壁面，其位于低位侧表面和高位侧表面的边界。
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公开(公告)号：CN117133704A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310606974.3
申请日：2023-05-26
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L33/00 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。基板处理装置(10)是利用上夹具板(44)对作为加压对象物的基板(2)进行加压的基板处理装置，具有配置于上夹具板(44)之下的下夹具板(46)、和设置于下夹具板(46)之上且供基板(2)配置的设置基座(47)，设置基座(47)以能够允许设置基座(47)的变形的方式预固定于下夹具板(46)。
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公开(公告)号：CN115362539A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202180025439.8
申请日：2021-03-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/02 , H01L21/60 , H05K13/04
Abstract: 本发明提供一种搬运头的共用化容易的压模工具、可使压模工具不残留于基板侧而将配置于基板的表面的搬运对象元件，自基板容易地拾起并搬运容易的搬运装置、以及使用它们的元件阵列的制造方法。压模工具(10)具有：压模层(12)，其可装卸自如地粘附作为搬运对象元件的元件(32r)；支撑板(14)，其固定有压模层(12)；以及转接板(16)，其具有可更换自如地安装有支撑板(14)，搬运头(22)装卸自如地安装的安装面(16a)。
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公开(公告)号：CN115349168A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202180025430.7
申请日：2021-03-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/60 , H01L21/683 , H05K13/04
Abstract: 本发明提供一种可将冲压工具的冲压面保持为清洁且保持冲压工具的冲压工具保持装置、相对于搬运头的冲压工具的定位容易的冲压工具定位装置、用于使用冲压工具高效地传送元件等搬运对象要素的多要素传送装置、及使用它们的元件阵列的制造方法。一种冲压工具保持装置(80)，具有装卸自如地设置有冲压工具(10)的设置台(82)。设置台(82)具有形成有收纳冲压工具(10)的冲压层(12)的收纳凹部(86)的设置面(84)，在设置面(84)形成有可装卸自如地吸附位于冲压层(12)的周围的冲压工具(10)的一部分的抽吸孔(85)。
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