公开(公告)号：CN117133849A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310597254.5

申请日：2023-05-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤洋平 ,  进藤修 ,  小泉洋 ,  山下诚 ,  加藤康生 ,  牧田光悦 ,  松本匡史

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/00 ,  H01L25/075 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明的技术问题在于，提供一种可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。本发明的基板处理装置具有：配置有加压对象物即基板(2)的下夹具板(46)、对配置于下夹具板(46)的基板(2)进行加压的上夹具板(44)、以及支承下夹具板(46)并对下夹具板(46)赋予与施加于下夹具板(46)的载荷的面内分布对应的支承力的支承构件(45)。

公开(公告)号：CN117133705A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310607005.X

申请日：2023-05-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤洋平 ,  小泉洋 ,  进藤修 ,  牧田光悦 ,  松本匡史

IPC: H01L21/687 ,  H01L33/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。基板处理装置(10)具有供作为加压对象物的基板(2)配置的下夹具板(46)、支承下夹具板(46)的多个柱状部件(50)、以及与下夹具板(46)直接或间接地抵接且散热性比多个柱状部件(50)高的散热用柱(53)。

公开(公告)号：CN117133848A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310596926.0

申请日：2023-05-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤洋平 ,  小泉洋 ,  宫腰敏畅 ,  进藤修 ,  须永诚寿郎 ,  山下诚 ,  加藤康生 ,  牧田光悦 ,  松本匡史

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/00 ,  H01L25/075 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明的技术问题在于，提供一种可以使施加于加压对象物的载荷量均匀的基板处理装置。本发明的基板处理装置具有：配置有作为加压对象物的基板(2)的下夹具板(46)、和具有设置有支承下夹具板(46)的多个柱状构件(50)的设置部(52)的支承构件(45)，多个柱状构件(50)能够根据施加于下夹具板(46)的载荷的面内分布设置于设置部(52)。

公开(公告)号：CN117133704A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310606974.3

申请日：2023-05-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤洋平 ,  小泉洋 ,  宫腰敏畅 ,  进藤修 ,  须永诚寿郎 ,  牧田光悦 ,  山下诚 ,  加藤康生 ,  进藤谅 ,  松本匡史

IPC: H01L21/687 ,  H01L33/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。基板处理装置(10)是利用上夹具板(44)对作为加压对象物的基板(2)进行加压的基板处理装置，具有配置于上夹具板(44)之下的下夹具板(46)、和设置于下夹具板(46)之上且供基板(2)配置的设置基座(47)，设置基座(47)以能够允许设置基座(47)的变形的方式预固定于下夹具板(46)。

公开(公告)号：CN115362539A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202180025439.8

申请日：2021-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 须永诚寿郎 ,  山下诚 ,  宫腰敏畅 ,  加藤康生 ,  大友龙矩 ,  牧田光悦 ,  佐藤洋平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  H01L21/60 ,  H05K13/04

Abstract: 本发明提供一种搬运头的共用化容易的压模工具、可使压模工具不残留于基板侧而将配置于基板的表面的搬运对象元件，自基板容易地拾起并搬运容易的搬运装置、以及使用它们的元件阵列的制造方法。压模工具(10)具有：压模层(12)，其可装卸自如地粘附作为搬运对象元件的元件(32r)；支撑板(14)，其固定有压模层(12)；以及转接板(16)，其具有可更换自如地安装有支撑板(14)，搬运头(22)装卸自如地安装的安装面(16a)。

公开(公告)号：CN115349168A

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202180025430.7

申请日：2021-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 须永诚寿郎 ,  山下诚 ,  宫腰敏畅 ,  加藤康生 ,  大友龙矩 ,  牧田光悦 ,  佐藤洋平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60 ,  H01L21/683 ,  H05K13/04

Abstract: 本发明提供一种可将冲压工具的冲压面保持为清洁且保持冲压工具的冲压工具保持装置、相对于搬运头的冲压工具的定位容易的冲压工具定位装置、用于使用冲压工具高效地传送元件等搬运对象要素的多要素传送装置、及使用它们的元件阵列的制造方法。一种冲压工具保持装置(80)，具有装卸自如地设置有冲压工具(10)的设置台(82)。设置台(82)具有形成有收纳冲压工具(10)的冲压层(12)的收纳凹部(86)的设置面(84)，在设置面(84)形成有可装卸自如地吸附位于冲压层(12)的周围的冲压工具(10)的一部分的抽吸孔(85)。