半导体空腔的临时机械稳定

    公开(公告)号:CN107867672B

    公开(公告)日:2023-02-17

    申请号:CN201710867433.0

    申请日:2017-09-22

    Abstract: 一种用于制作电子器件的方法包括:提供半导体晶片;在所述半导体晶片中形成多个空腔;将稳定化材料填充到所述空腔中;通过将盖片施加在所述半导体晶片上来制作临时面板,所述盖片覆盖所述空腔;将所述临时面板单个化地分割成多个半导体器件;通过将所述半导体器件嵌入包封材料中来制作嵌入式晶片;将每一个半导体器件的所述盖片去除;以及将所述嵌入式晶片单个化地分割成多个电子器件。

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