基板搬运机器人和基板搬运方法

    公开(公告)号:CN103824791A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201310562628.6

    申请日:2013-11-13

    Inventor: 末吉智 垂野真

    CPC classification number: B25J11/0095 B25J9/042 B25J9/046 B25J19/021

    Abstract: 本发明涉及基板搬运机器人和基板搬运方法。所述基板搬运机器人包括可伸展/可缩回臂单元、机器人手和传感器单元。所述可伸展/可缩回臂单元构造成在水平方向上伸展和缩回。所述机器人手设置有用于保持基板的叉齿。所述机器人手包括以可旋转的方式连接到所述可伸展/可缩回臂单元的末端部的基端部。所述传感器单元布置成借助所述机器人手的旋转力而旋转。所述传感器单元构造成通过旋转与由所述叉齿保持的所述基板的侧端部在俯视观察时交叉并且检测所述基板的侧端位置。

    搬运机器人
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103085063A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201210424721.6

    申请日:2012-10-30

    Abstract: 本发明提供搬运机器人,能够实现结构的简化并且能够抑制装置的制造成本及重量。搬运机器人具备用于保持搬运物的水平臂单元和一对腿部单元。一对腿部单元各具有与第1关节部连结的第1连杆以及与第2关节部连结并经由第3关节部支承水平臂单元的第2连杆。另外,搬运机器人构成为,数量比设置在一对腿部单元的关节部的总数少的驱动源被设置在任意关节部。

    多关节机器人
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101590645B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200810129958.5

    申请日:2008-07-24

    Abstract: 本发明提供一种多关节机器人,在减小作用于支柱所具备的移动机构的支撑部上的转矩负荷的同时,减小多关节机器人占有的空间。具体为,一种多关节机器人(1),所述移动机构(11)在与所述多关节臂(2)的伸展方向相同的方向上配置在支柱(12)上,配置于所述移动机构(11)的所述多关节臂(2)的任意一个支撑构件(10),突出形成于与所述多关节臂(2)的伸展方向及所述移动机构(11)的移动方向正交的方向上,另一个所述多关节臂的支撑构件(10)形成向伸展方向的前方伸出的形状,与所述多关节臂(2)连接。

    双臂型机器人
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101506963B

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200780030638.8

    申请日:2007-08-03

    CPC classification number: B25J9/0084 B25J9/0087 B25J9/042 B65G49/067

    Abstract: 本发明提供一种双臂型机器人,其具备可以各自独立地上下移动的双臂,通过把上下的支撑构件的间隔控制在适当的范围内,可以使立柱紧凑,将设置面积或旋转半径控制小,抑制伴随上下支撑构件的动作对工件的不良影响。具体为,在具备:分别支承上下配置的2个多关节臂(2)的2个支撑构件(101)、(102);及把2个支撑构件连接成可以沿着立柱(12)分别在上下方向上移动的移动机构(11)的双臂型机器人(1)中,通过2个支撑构件(101)、(102)的一方或双方的上下移动,2个支撑构件(101)、(102)的上下方向的间隔变宽,当其间隔达到第1规定值,则停止支撑构件(101)、(102)的上下动作。

    机器人以及系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119567232A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411241935.9

    申请日:2024-09-05

    Abstract: 机器人以及系统。机器人具备:第一基部;第一可动部,其具有能够以第一旋转轴为中心在垂直面内旋转的第一臂和能够以第二旋转轴为中心在垂直面内旋转的第二臂;第二可动部,其具有能够以第三旋转轴为中心在垂直面内旋转的第二基部、能够以第四旋转轴为中心旋转的第三臂和能够以第五旋转轴为中心旋转且保持晶片的手部;以及控制部,其以搬运由手部保持的晶片的方式控制第一可动部及第二可动部,搬运晶片时的第一可动部的轨迹在与垂直面垂直的方向上的宽度容纳于被搬运的晶片的轨迹在与垂直面垂直的方向上的宽度。

    机器人系统
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103029987B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201210028826.X

    申请日:2012-02-09

    Inventor: 末吉智

    CPC classification number: B25J9/042 B25J5/02 B25J9/046 B25J19/0066

    Abstract: 本发明涉及机器人系统。根据实施方式的机器人系统包括机器人和控制部。机器人包括在预定方向上工作的多个可移动单元以及连接到这些可移动单元的连杆,控制部控制机器人的可移动单元的工作。另外,机器人系统在预定的可移动单元停止的状态下,通过使与该预定的可移动单元不同的可移动单元工作,转移安放在该预定的可移动单元上的可拆卸部件。

    机器人的姿态变更方法、机器人和机器人的旋转单元

    公开(公告)号:CN104139399A

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201410090338.0

    申请日:2014-03-12

    Abstract: 本发明提供能使作业员安全地实施保养作业的机器人的姿态变更方法、机器人和机器人的旋转单元。实施方式涉及的机器人的姿态变更方法包括固定工序、安装工序、解除工序和变更工序。在上述固定工序中,臂部由经由关节连结且能旋转的多个连杆构成,对于具有上述臂部的机器人,通过安装夹具而固定上述臂部,上述夹具用于固定与上述关节相邻的上述连杆彼此。在上述安装工序中,将通过赋予外力使上述关节旋转的旋转单元安装在该关节上。在上述解除工序中,卸下上述夹具以解除上述臂部的固定。在上述变更工序中,通过向上述旋转单元赋予外力使上述关节旋转从而任意变更上述机器人的姿态。

    多关节机器人和在多关节机器人中取出差动减速器的方法

    公开(公告)号:CN101543992B

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN200810111409.5

    申请日:2008-06-03

    Abstract: 本发明提供一种维护容易的多关节机器人。具体为,一种多关节机器人,具备:载置搬运物的手部;与所述手部连接,具备至少2个以上的旋转关节,使所述手部向一个方向移动地进行伸缩,配置为在上下方向上对向的多关节臂;对上下移动地安装在支柱上的在上下方向上移动的移动机构和所述多关节臂进行连接的支撑构件;及连接于所述支柱的下端部,使安装在所述支柱上的所述多关节臂旋转的台座,使所述台座旋转的差动减速器的输出轴的固定面位于支撑所述台座的轴承的厚度的大致中心。

    多关节机器人
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101863015A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN201010188559.3

    申请日:2007-06-15

    CPC classification number: B25J9/042 B25J18/04 H01L21/68707

    Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染,同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为,一种多关节机器人,具备:载置搬运物的手部;与所述手部连接,具备至少2个以上的旋转关节,使所述手部向一个方向移动地进行伸缩,配置为在轴向上对向的多关节臂;对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件;及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座,所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上,配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出,与所述多关节臂连接。

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