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公开(公告)号：CN118990471A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410586503.5
申请日：2024-05-13
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/16 , H01L21/677 , H01L21/683 , B25J11/00 , B25J18/00 , B65G47/91
Abstract: 提供基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法，实现搬运作业的稳定化。本公开的一个方面的基板搬运机器人具备支承基板的手部和使手部动作的臂。手部具有：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部以及摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117798941A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311221843.X
申请日：2023-09-21
Applicant: 株式会社安川电机
Inventor： 垂野真
Abstract: 提供搬运系统以及搬运方法。即使在存在基板的挠曲的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的搬运系统具有机器人和控制器。控制器对机器人的动作进行控制。机器人具有手和升降机构。手搬运基板。升降机构使手升降。手具有能够检测与基板的下表面的距离的传感器。控制器具有存储部、检测部以及计算部。存储部存储包含基板的载置位置处的载置高度的载置信息。检测部在使手从载置高度下降时，检测基板与手分离的分离高度。计算部基于载置高度与分离高度的差来计算基板的挠曲量。
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公开(公告)号：CN103824791A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201310562628.6
申请日：2013-11-13
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/67
CPC classification number: B25J11/0095 , B25J9/042 , B25J9/046 , B25J19/021
Abstract: 本发明涉及基板搬运机器人和基板搬运方法。所述基板搬运机器人包括可伸展/可缩回臂单元、机器人手和传感器单元。所述可伸展/可缩回臂单元构造成在水平方向上伸展和缩回。所述机器人手设置有用于保持基板的叉齿。所述机器人手包括以可旋转的方式连接到所述可伸展/可缩回臂单元的末端部的基端部。所述传感器单元布置成借助所述机器人手的旋转力而旋转。所述传感器单元构造成通过旋转与由所述叉齿保持的所述基板的侧端部在俯视观察时交叉并且检测所述基板的侧端位置。
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