公开(公告)号：CN104176500A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410129367.3

申请日：2014-04-01

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  进大介

IPC: B65G49/06 ,  B65G47/90 ,  B25J9/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/90 ,  B25J9/042 ,  B25J9/1679 ,  G05B2219/40087 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67766 ,  Y10S901/02

Abstract: 本发明提供一种在不使机器人大型化时也能接近位于更远位置的基板载置部的基板搬运机器人、基板搬运系统和基板搬运方法。该基板搬运机器人（13）包括手部（131）、使手部（131）移动的臂（132）和控制手部（131）的移动的控制部（133）。控制部（133）控制手部（131）的位置和朝向，使得在俯视时基板保持中心（138）位于盒（30）的附近且位于与盒（30）分隔规定的间隔的接近起始位置（141）上，在该状态下，手中心线（139）相对于接近直线（304）倾斜，且在手中心线（139）与接近直线（304）一致的状态下，基板保持中心（138）到达盒（30）内的基板载置位置（142）。

公开(公告)号：CN118136563A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202311531357.8

申请日：2023-11-16

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 南孝 ,  木村吉希 ,  实政泰树

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

Abstract: 基板搬运装置以及基板搬运方法，即使在基板的状态发生了变化的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的基板搬运装置相对于在上下方向上多层地收纳基板的盒搬入搬出上述基板，其中，该基板搬运装置具有：手，其搬运上述基板；动作机构，其使上述手动作；控制器，其对上述动作机构进行控制；以及第1检测部，其能够检测上述基板。上述控制器具有偏移量变更部，上述偏移量变更部根据由上述第1检测部检测出的上述基板的厚度或挠曲量，对上述手相对于上述盒搬入搬出上述基板时的、使上述手相对于上述盒的基板支承高度上下动作的偏移量进行变更。

公开(公告)号：CN103227132B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201210574403.8

申请日：2012-12-26

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古市昌稔 ,  木村吉希 ,  松尾智弘 ,  草间义裕

IPC: H01L21/677

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J9/1664 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67766 ,  Y10S901/02 ,  Y10S901/15

Abstract: 本发明提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括机器人和控制器。所述控制器包括切换单元。所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成。后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂。所述切换单元切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹在预定的时刻与这些线都不重叠。

公开(公告)号：CN104183521A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410131232.0

申请日：2014-04-02

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B25J9/042 ,  B25J9/1679 ,  B25J13/08 ,  G05B2219/40087 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/68707 ,  Y10S901/02 ,  Y10S901/46

Abstract: 本发明提供一种基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法，即使基板搬运机器人的臂较短，也能检测基板载置部上的基板的配置状态。在该基板搬运机器人（13）中，控制部（133）的结构为，在俯视时，在手部（131）相对于基板收装中心线（141）向基板搬运机器人的旋转中心（C1）侧倾斜的状态下，通过检测部（150）检测盒（30）内的基板（110）的配置状态。

公开(公告)号：CN103193085A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201210399211.8

申请日：2012-10-19

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  南孝

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明涉及一种搬运系统，根据实施方式的搬运系统包括存储单元、指示部以及多个机器人手。这些机器人手能操作以保持薄板状工件。在所述存储单元中存储速度信息，该速度信息表示与保持所述工件的机器人手的规定速度相关联的该工件的温度。所述指示部从所述速度信息提取针对每个机器人手的规定速度，并且做出指示：以基于一组所提取的规定速度数据确定的代表速度或以低于该代表速度的速度，移动所有机器人手。

公开(公告)号：CN102779771A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201210062021.7

申请日：2012-03-09

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67265

Abstract: 本发明提供了一种机器人系统。该机器人系统包括：机器人手，其用于搬运沿着竖直方向以多个层次收纳在收纳单元中的基板；位置检测单元，其用于检测收纳在所述收纳单元内的所述基板的收纳位置；净空计算单元，其用于基于所述位置检测单元检测出的所述基板的收纳位置来计算相邻基板之间的净空；以及进入允许/禁止确定单元，其用于基于所述净空计算单元计算出的净空来确定允许还是禁止所述机器人手进入所述基板之间的空间。

公开(公告)号：CN111332833A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201911058998.X

申请日：2019-11-01

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 南孝 ,  木村吉希

IPC: B65H5/08 ,  B65H29/02 ,  B65H43/00 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种有效的运送系统以及运送控制方法，能够以简单的构成高精度地进行支承基板的手的位置的校准。运送系统(2)包括：手(30)，支承作为运送对象的工件(W)；臂(40)，使手(30)移动；扫描控制部(113)，通过臂(40)使手(30)沿与边(33a)和边(33b)交叉的扫描方向移动，以使被固定于手(30)的彼此不平行的边(33a)和边(33b)通过工件(W)的运送路径中的已知的基准位置(RP)；以及位置检测部(114)，基于当扫描控制部(113)使手(30)移动时边(33a)到达基准位置(RP)的定时以及边(33b)到达基准位置(RP)的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。

公开(公告)号：CN104733348A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201410738775.9

申请日：2014-12-05

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  南孝

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/681 ,  H01L21/67259 ,  Y10S901/30 ,  Y10S901/47

Abstract: 本发明提供一种检测系统及检测方法，能够以低成本切实地检测出基板的偏心状态。具体而言，如下构成检测系统，使其具备：旋转部，使载放有圆形基板的载放台绕转轴旋转；及检测部，在距转轴的距离不同的多个检测位置分别检测出有无旋转中的基板的外周部。并如下构成检测系统，使其具备判定部，根据将外周部的有无发生更替时的载放台的相位与检测位置组合后的检测信息，来判定基板的偏心状态。

公开(公告)号：CN103193085B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210399211.8

申请日：2012-10-19

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  南孝

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明涉及一种搬运系统，根据实施方式的搬运系统包括存储单元、指示部以及多个机器人手。这些机器人手能操作以保持薄板状工件。在所述存储单元中存储速度信息，该速度信息表示与保持所述工件的机器人手的规定速度相关联的该工件的温度。所述指示部从所述速度信息提取针对每个机器人手的规定速度，并且做出指示：以基于一组所提取的规定速度数据确定的代表速度或以低于该代表速度的速度，移动所有机器人手。

公开(公告)号：CN103213124A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201210440173.6

申请日：2012-11-07

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希

IPC: B25J9/16 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/1612 ,  B25J19/02 ,  G05B2219/37002 ,  G05B2219/39476 ,  Y10S901/46

Abstract: 本发明涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手构造成保持薄板状工件，所述臂构造成使所述手移动；以及机器人控制器，该机器人控制器构造成控制所述机器人。所述机器人控制器控制所述机器人以使其在预定的工件搬动位置处执行工件的搬运，使得在所述手已到达所述工件搬运位置之后使所述手在沿竖直方向移动的同时沿水平方向移动。