半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN103545318B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201310302897.9

    申请日:2013-07-17

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/201

    Abstract: 本发明的一个方式提供如下半导体装置:使用氧化物半导体膜,将含有铜的金属膜用于布线或信号线等,具有稳定的电特性且高可靠性。本发明的一个方式是一种半导体装置,该半导体装置包括:栅电极;形成在该栅电极上的栅极绝缘膜;与该栅极绝缘膜接触且包含与该栅电极重叠的沟道形成区域的氧化物半导体膜:形成在该氧化物半导体膜上的源电极及漏电极;形成在该氧化物半导体膜、该源电极以及该漏电极上的氧化物绝缘膜,该源电极及该漏电极都包括:在该沟道形成区域的两端具有其一个端部的第一金属膜;形成在该第一金属膜上的含有铜的第二金属膜;形成在该第二金属膜上的第三金属膜,该第二金属膜形成在该第一金属膜的一个端部的内侧。

    半导体装置、半导体装置的制造方法以及电子设备

    公开(公告)号:CN120019726A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202380070619.7

    申请日:2023-10-23

    Abstract: 提供一种电特性良好的半导体装置。提供一种半导体装置,包括晶体管、第一层间绝缘层、第一层间绝缘层上的第二层间绝缘层。晶体管包括用作源电极和漏电极中的一个的第一导电层及用作源电极和漏电极中的另一个的第二导电层,在第一导电层与第二导电层之间设置第一和第二层间绝缘层。在第一和第二层间绝缘层以及第二导电层中设置有到达第一导电层的开口部,以具有位于该开口部的内部的区域的方式依次设置半导体层、第一栅极绝缘层及第一栅电极。在第一层间绝缘层与第二层间绝缘层之间以覆盖半导体层的侧面的方式设置第二栅电极。第二栅电极包括具有与半导体层接触的区域的氧化物区域。氧化物区域被用作第二栅极绝缘层。

    存储装置
    4.
    发明公开
    存储装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119908173A

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202380064404.4

    申请日:2023-09-25

    Abstract: 一种存储装置包括:衬底上的第一绝缘体;覆盖第一绝缘体的至少一部分的氧化物半导体;氧化物半导体上的第一导电体及第二导电体;第一导电体上的第二绝缘体;第二导电体上的第三绝缘体;第二绝缘体上的第三导电体;第三绝缘体上的第四导电体;配置在第三导电体及第四导电体上且具有重叠于第一导电体、第二绝缘体及第三导电体与第二导电体、第三绝缘体及第四导电体间的第一开口的第四绝缘体;配置在第一开口内的第五绝缘体;配置在第五绝缘体上的第五导电体;配置在形成于第四绝缘体中的第二开口内且接触于第三导电体的顶面的第六导电体;以及配置在形成于第四绝缘体、第三绝缘体及第四导电体中的第三开口内且接触于第二导电体的顶面的第七导电体,其中,第一绝缘体的高度比第一绝缘体的宽度长,第一绝缘体的顶面与第五绝缘体接触。

    半导体装置及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN111788696B

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN201980015985.6

    申请日:2019-02-18

    Abstract: 提供一种通态电流大的半导体装置。该半导体装置包括:第一氧化物;第一氧化物上的第二氧化物;第二氧化物上的第三氧化物;第三氧化物上的第一绝缘体;第一绝缘体上的导电体;与第二氧化物及第三氧化物接触的第二绝缘体;以及第二绝缘体上的第三绝缘体,其中,第二氧化物包括第一区域至第五区域,第一区域及第二区域的电阻比第三区域的电阻低,第四区域及第五区域的电阻比第三区域的电阻低且比第一区域及第二区域的电阻高,并且,导电体以与第三区域、第四区域及第五区域重叠的方式设置在第三区域、第四区域及第五区域的上方。

    显示装置和包括显示装置的电子设备

    公开(公告)号:CN112447130B

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202011381869.7

    申请日:2010-09-24

    Abstract: 本发明涉及显示装置和包括显示装置的电子设备。本发明的一个目的在于提供具有减少的功耗的显示装置以及提供具有减少的功耗且在暗处能够长时间地使用的自发光型显示装置。利用薄膜晶体管形成电路,在该薄膜晶体管中使用了高度纯净化的氧化物半导体,并且像素能够保持一定的状态(视频信号已被写入的状态)。因此,即使在显示静止图像的情况下,也能容易地执行稳定的操作。此外,可以延长驱动器电路的操作间隔,这使得显示装置的功耗降低。而且,在自发光型显示装置的像素部分中使用蓄光材料以存储光,由此能够在暗处较长时间地使用该显示装置。

    氧化物半导体层、半导体装置以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN119300442A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202410841064.8

    申请日:2024-06-27

    Abstract: 本公开涉及氧化物半导体层、半导体装置以及半导体装置的制造方法。提供一种可用于具有良好的电特性的半导体装置的氧化物半导体层。另外,提供一种半导体装置以及半导体装置的制造方法。本发明是一种形成在衬底上的包含铟的氧化物半导体层,氧化物半导体层以与衬底的表面平行或大致平行的方式形成,氧化物半导体层具有第一区域、第一区域上的第二区域以及第二区域上的第三区域,第一区域大致垂直地位于离氧化物半导体层的被形成面有0nm以上且3nm以下处,在利用透射电子显微镜观察氧化物半导体层的截面时,在第一区域、第二区域及第三区域的每一个中确认到在平行于被形成面的方向上排列为层状的亮点。

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