半导体装置的制造方法及制造装置

    公开(公告)号:CN106505043A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201610239908.7

    申请日:2016-04-18

    Inventor: 松浦永悟

    Abstract: 本发明的实施方式提供一种能够抑制半导体芯片弯曲的半导体装置的制造方法及制造装置。在实施方式的半导体装置的制造方法中,将作为第1半导体芯片的控制器芯片(11)载置在衬底(10)上。将贴合了接着层(12)的作为第2半导体芯片的NAND芯片(21)以使接着层(12)朝向衬底(10)侧的状态载置在衬底(10)上。在将第2半导体芯片载置在衬底(10)时,以接着层(12)中的第1部分的粘度低于第2部分的粘度的状态,将第1半导体芯片埋入接着层(12)。第1部分是接着层分。第2部分是接着层(12)中位于第1部分的周围的部分。经由接着层(12)将第2半导体芯片接着在衬底(10)上。(12)中位于载置在第1半导体芯片上的范围的部

    半导体存储装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105990369A

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201510098097.9

    申请日:2015-03-05

    Abstract: 本发明的实施方式可通过组装后的动作测试而容易地检查存储器与控制器之间的信号的状态。实施方式的半导体存储装置包括:布线衬底;存储器;键合线,将布线衬底与存储器电连接;存储器控制器;及绝缘树脂层。布线衬底包括:键合垫,设置在第一面,且具有接合着键合线的接合部、及通孔焊盘部;通孔,於俯視方向上,以与通孔焊盘部重叠的方式贯通布线衬底;以及连接垫,以与通孔重叠的方式设置在第二面,且经由通孔与键合垫电连接,并且以包含通孔的一部分的方式在第二面露出。

    半导体装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104051353A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201310349227.2

    申请日:2013-08-12

    Abstract: 本发明提供即使在TCT中也不发生破裂的可靠性高的半导体装置。该半导体装置具有:半导体芯片(1);第一树脂(2),其使半导体芯片(1)的表面露出地埋入半导体芯片(1);第二树脂(3),其在位于与半导体芯片(1)的表面同一面上的第一树脂(2)的面上形成;布线层(4),其形成于第二树脂(3)上且与所述半导体芯片(1)电连接;外部连接端子(5),其形成于布线层(4)上;和金属板(6),其在第一树脂(2)的与埋入有半导体芯片(1)的面相对的相反侧的面形成,其中,所述第一树脂(2)的弹性率为0.5~5GPa。

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