一种紧凑型离子吸气复合泵
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118030446A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410179267.5

    申请日:2024-02-18

    摘要: 本发明公开了属于真空技术领域的一种紧凑型离子吸气复合泵。其中,离子泵单元高压电极与离子泵单元阳极筒以中圆柱孔间隙配合,并通过螺钉挤压紧密连接;离子泵单元高压电极与离子泵单元壳体连接;离子泵单元磁铁与离子泵单元屏蔽磁钢通过磁力紧密贴合;离子泵单元阴极板的四个引脚安装于离子泵单元壳体内;吸气剂泵单元吸气元件模块内部串有吸气剂泵单元加热组件,吸气剂泵单元壳体分别与离子泵单元壳体、吸气剂泵单元吸气元件模块焊接;吸气剂泵单元电极安装于吸气剂泵单元加热组件上。本发明实现了非氢气体、氢气分级吸收,可以充分发挥两个功能单元的吸气特性,降低了加工难度,且便于装配。

    一种低应力氮化铝薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN114395751B

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202111534071.6

    申请日:2021-12-15

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/06

    摘要: 本发明公开了属于压电薄膜制备技术领域的一种低应力氮化铝薄膜的制备方法。所述方法将靶材和衬底装入磁控溅射设备,调节磁控溅射靶材法线方向与基片台法线方向的夹角X,靶基距为Y,在工作气体气氛下调节气体流量、溅射功率和溅射气压Z,稳定后进行氮化铝薄膜沉积,结束沉积后,降温获得低应力的C轴取向氮化铝薄膜;确保Z=5.5e(‑Y‑X/2)/43‑0.03,其中,0≤X≤30°;120mm≤Y≤200mm。本发明采用的方法在使溅射粒子保持较高的能量的同时,还使其在基片台能够充分扩散,制备的氮化铝薄膜具有C轴择优取向的同时具备低应力,有利于提高氮化铝器件的可靠性,且操作流程简单,适用于工业大规模生产。

    一种高模量铝基复合材料箔材及其制备方法

    公开(公告)号:CN116497250B

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310767687.0

    申请日:2023-06-27

    摘要: 本发明公开了一种高模量铝基复合材料箔材及其制备方法,所述箔材的组分包括:10wt%‑40wt%的陶瓷颗粒、以及60wt%‑90wt%的铝或60wt%‑90wt%的铝合金;所述陶瓷颗粒的粒径≤20μm;所述高模量铝基复合材料的致密度≥99.8%,屈服强度≥220 MPa,延伸率≥3%,密度≤3g/cm3,弹性模量≥110GPa;高模量铝基复合材料箔材的厚度为0.08mm‑0.25mm。本发明公开的制备方法,首先采用热等静压以及热挤压制备得到了增强相均匀分布的近全致密高性能铝基复合材料初坯,再通过大变形开坯和交叉热轧制实现了增强相的均匀分散。通过热轧与冷轧相结合的方法,对加热、退火以及轧制工艺的控制,实现了难变形的高体积分数铝基复合材料箔材的轧制和性能的优化控制。

    一种碳化钛基陶瓷与硬质合金焊接圆棒及其制备方法

    公开(公告)号:CN113831148B

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202110938002.5

    申请日:2021-08-16

    IPC分类号: C04B37/02

    摘要: 本发明公开了一种碳化钛基陶瓷与硬质合金焊接圆棒,包括碳化钛基陶瓷棒(1)、钛涂层(2)、铜基焊料(3)、硬质合金棒(4),碳化钛基陶瓷棒(1)的一端磁控溅射镀钛涂层(2),碳化钛基陶瓷棒(1)的一端与硬质合金棒(4)的一端通过铜基焊料(3)形成铜基焊料层焊接。制备方法包括以下步骤:清洗碳化钛基陶瓷棒的端面和硬质合金棒的端面;用饱和硼砂水溶液煮碳化钛基陶瓷棒和硬质合金棒,再超声波清洗后进行烘干;将碳化钛基陶瓷棒的一端磁控溅射镀钛涂层;将碳化钛基陶瓷棒与硬质合金棒装配后焊接,保温后进行降温,得到碳化钛基陶瓷与硬质合金焊接圆棒。本发明能够广泛地应用于刀具、微细钻头以及电子行业用键合工具等方面。

    一种长寿命自动楔焊劈刀及其制备方法

    公开(公告)号:CN114986040A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210895470.3

    申请日:2022-07-28

    IPC分类号: B23K37/00 B23P15/00

    摘要: 本发明公开了一种长寿命自动楔焊劈刀,包括刀柄及与刀柄相连的刀头,刀柄沿长度方向上设有中心通孔,刀头一端与刀柄相连,另一端为键合面,键合面由采用磁控溅射制备的粘附层与耐磨层组成,键合面中心设有半圆柱形凹槽,刀头内部设有过渡孔及斜引线孔,斜引线孔靠近键合面的出口设有导向槽。劈刀的制备方法为:将劈刀坯料进行热等静压处理,再进行线切割,采用磨床对进行磨削,再采用精密电火花方式加工出刀柄和刀头内的微孔结构;采用磁控溅射方式在自动楔焊劈刀原始键合面上沉积粘附层与耐磨层。本发明可提高劈刀的使用寿命,并提高自动键合效率,同时刀头内的导向槽可以约束出丝方向,有利于提高键合效果的一致性。