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公开(公告)号：CN113123942A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201911404530.1
申请日：2019-12-31
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及一种吸气剂微泵及其制备方法，属于电真空元件制造技术领域。该吸气剂微泵由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。本发明还公开了该吸气剂微泵的制备方法。本发明的吸气剂微泵极大的提高了吸气剂与玻璃真空腔室的兼容性，提高了吸气剂的贮存寿命，具有安装方便、激活使用方便、吸气性能优良等特点。
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公开(公告)号：CN111140463B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201911155524.7
申请日：2019-11-22
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于真空技术领域的一种片状堆砌结构吸气剂泵。所述吸气剂泵包括吸气元件、陶瓷加热片、中心支撑杆、热屏蔽结构和底座；吸气元件包含吸气剂片与中心台阶垫片；吸气元件、陶瓷加热片通过圆孔交替堆砌在中心支撑杆上，通过中心台阶垫片厚度调整二者间隙；热屏蔽结构包括布设在堆砌体的顶、底和外层的热屏蔽层和镂空薄壳；底座为高真空CF法兰，通过可伐合金焊接电极。吸气元件上采用吸气剂片与中心台阶垫片配合的一体结构，有效避免吸气元件各部件摩擦而导致的掉粉问题。采用陶瓷加热片的面对面热辐射加热激活吸气剂，具有加热效率高、激活均匀的特点。本发明结构设计合理，具有安装便捷、使用安全，适用于各类真空系统的真空获得与无源维持。
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公开(公告)号：CN112169528B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202011012294.1
申请日：2020-09-24
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种内加热式吸气剂片及其制备方法，吸气剂片包括内嵌加热丝、绝缘层、吸气材料。所述方法包括：内嵌加热丝的制备、加热丝绝缘层的制备、吸气剂片预成型以及吸气剂片的制备。本发明的内加热式吸气剂片，加热效率高、激活均匀，并具有较高的吸气速率。
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公开(公告)号：CN109681406A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811547643.2
申请日：2018-12-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及一种内加热式吸气剂泵，包括吸气元件1、支撑体、定位板5、底座6，所述支撑体包括中心支撑棒2与圆筒状镂空薄壳4，所述中心支撑棒2与所述圆筒状镂空薄壳4通过定位板5相连；所述定位板5和圆筒状镂空薄壳4通过中心支撑棒2固定到所述底座6上；泵体具有多个吸气元件1，并通过细金属棒11均布地固定在定位板5上；底座6为高真空CF法兰，以螺纹形式连接泵体中心支撑棒2，并通过可伐合金内嵌四个真空电极7，连接泵体内部加热系统、热电偶和外部电源。本发明的内加热式吸气剂泵采用内加热型柱状吸气元件，加热效率高、激活均匀，并具有较高的吸气速率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118030446A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410179267.5
申请日：2024-02-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于真空技术领域的一种紧凑型离子吸气复合泵。其中，离子泵单元高压电极与离子泵单元阳极筒以中圆柱孔间隙配合，并通过螺钉挤压紧密连接；离子泵单元高压电极与离子泵单元壳体连接；离子泵单元磁铁与离子泵单元屏蔽磁钢通过磁力紧密贴合；离子泵单元阴极板的四个引脚安装于离子泵单元壳体内；吸气剂泵单元吸气元件模块内部串有吸气剂泵单元加热组件，吸气剂泵单元壳体分别与离子泵单元壳体、吸气剂泵单元吸气元件模块焊接；吸气剂泵单元电极安装于吸气剂泵单元加热组件上。本发明实现了非氢气体、氢气分级吸收，可以充分发挥两个功能单元的吸气特性，降低了加工难度，且便于装配。
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公开(公告)号：CN112169528A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011012294.1
申请日：2020-09-24
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种内加热式吸气剂片及其制备方法，吸气剂片包括内嵌加热丝、绝缘层、吸气材料。所述方法包括：内嵌加热丝的制备、加热丝绝缘层的制备、吸气剂片预成型以及吸气剂片的制备。本发明的内加热式吸气剂片，加热效率高、激活均匀，并具有较高的吸气速率。
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公开(公告)号：CN111140463A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911155524.7
申请日：2019-11-22
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了属于真空技术领域的一种片状堆砌结构吸气剂泵。所述吸气剂泵包括吸气元件、陶瓷加热片、中心支撑杆、热屏蔽结构和底座；吸气元件包含吸气剂片与中心台阶垫片；吸气元件、陶瓷加热片通过圆孔交替堆砌在中心支撑杆上，通过中心台阶垫片厚度调整二者间隙；热屏蔽结构包括布设在堆砌体的顶、底和外层的热屏蔽层和镂空薄壳；底座为高真空CF法兰，通过可伐合金焊接电极。吸气元件上采用吸气剂片与中心台阶垫片配合的一体结构，有效避免吸气元件各部件摩擦而导致的掉粉问题。采用陶瓷加热片的面对面热辐射加热激活吸气剂，具有加热效率高、激活均匀的特点。本发明结构设计合理，具有安装便捷、使用安全，适用于各类真空系统的真空获得与无源维持。
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公开(公告)号：CN109681406B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201811547643.2
申请日：2018-12-18
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及一种内加热式吸气剂泵，包括吸气元件1、支撑体、定位板5、底座6，所述支撑体包括中心支撑棒2与圆筒状镂空薄壳4，所述中心支撑棒2与所述圆筒状镂空薄壳4通过定位板5相连；所述定位板5和圆筒状镂空薄壳4通过中心支撑棒2固定到所述底座6上；泵体具有多个吸气元件1，并通过细金属棒11均布地固定在定位板5上；底座6为高真空CF法兰，以螺纹形式连接泵体中心支撑棒2，并通过可伐合金内嵌四个真空电极7，连接泵体内部加热系统、热电偶和外部电源。本发明的内加热式吸气剂泵采用内加热型柱状吸气元件，加热效率高、激活均匀，并具有较高的吸气速率。
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公开(公告)号：CN211598940U
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201922457811.5
申请日：2019-12-31
Applicant: 有研工程技术研究院有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种吸气剂微泵，属于电真空元件制造技术领域。该吸气剂微泵由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。本实用新型的吸气剂微泵提高了吸气剂的贮存寿命，具有安装方便、激活使用方便、吸气性能优良等特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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