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公开(公告)号：CN115527954A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210724456.7
申请日：2022-06-23
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , L·滕托里
Abstract: 本公开涉及具有不规则纹理表面的超薄半导体管芯所述均匀表面可以是圆齿表面，并且所述圆齿表面的圆齿相对于彼此是基本上相同的大小和形状。与所述均匀表面相比，所述不规则表面具有更不规则的纹理。所述不规则表面可以包括多个随机间隔的高点以及在所述高点中的相邻高点之间的多个随机间隔的低点。多层结构包括与所述腔体对准并且覆盖所述腔体的有源区。在所述多层结构被形成之后，延伸到所述多层结构中到达所述腔体的至少一个凹槽被形成。形成所述凹槽形成悬置在所述腔体上方的管芯结构以及从所述管芯结构延伸到围绕所述管芯结构的悬置结构的延伸。所述管芯结构通过破坏所述延伸来从所述管芯悬置结构释放。
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公开(公告)号：CN116986549A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310480979.6
申请日：2023-04-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及包括具有防粘滞突起的掩埋腔的MEMS结构及其制造方法。MEMS结构包括：半导体主体；腔，被掩埋在半导体主体中；膜，悬置在腔上；以及至少一个防粘滞凸块，被完全包含在腔中，其功能是防止腔内部的膜的侧面粘滞到向下界定腔的相对侧。
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公开(公告)号：CN117594374A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311002468.X
申请日：2023-08-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： F·韦尔切西 , G·加特瑞 , G·阿勒加托 , M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , A·达内伊
Abstract: 一种微机电按钮器件设置有检测结构，检测结构具有：具有前表面和后表面的半导体材料的衬底；被布置在衬底上的掩埋电极；被布置在结构层中的移动电极，移动电极覆盖在衬底上并且以分离距离弹性地悬置在掩埋电极上方以形成检测电容器；以及帽，帽耦合在结构层之上并且具有面对结构层的第一主表面和第二主表面，帽被设计为机械耦合到便携式或可佩戴型电子装置的外壳的可变形部分。帽在其第一主表面上具有致动部分，致动部分被布置在移动电极上并且被配置为在施加在第二主表面上的压力存在的情况下引起移动电极向掩埋电极的偏转和接近，从而引起检测电容器的电容变化，电容变化指示微机电按钮器件的致动。
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公开(公告)号：CN111463148A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010072318.6
申请日：2020-01-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： L·塞吉齐 , L·蒙塔格纳 , G·维萨利 , M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚
IPC: H01L21/67
Abstract: 本公开的实施例涉及制造具有改善的空间占用率的集成部件的方法以及集成部件。一种半导体材料的第一晶片具有表面。一种半导体材料的第二晶片包括衬底和在该衬底上的结构层。结构层集成了用于监测电磁辐射的检测器设备。第二晶片的结构层被耦合到第一晶片的表面。第二晶片的衬底被成形以形成微镜的定子、转子和移动质量块。定子和转子形成用于电容性地驱动移动质量块的组件。
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公开(公告)号：CN113375854B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202110209989.7
申请日：2021-02-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , G·阿勒加托
Abstract: 本公开的实施例包括腔和机械过滤结构的用于环境感测半导体器件。用于环境感测的半导体器件包括：由孔横穿的盖；以及被机械地耦接到盖来界定腔的主体，腔被插入在主体与盖之间。主体包括半导体本体和耦接结构，耦接结构被插入在半导体本体与盖之间并且横向地界定通道，通道将腔和孔流体地耦接。通道执行比由孔执行的机械过滤更精细的机械过滤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115752814A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211041314.7
申请日：2022-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种用于制造微机电器件的方法。该方法包括以下步骤：在基板上形成不渗透HF的结晶氧化铝的第一保护层；在第一保护层上形成通过HF可去除的氧化硅的牺牲层；在牺牲层上形成结晶氧化铝的第二保护层；暴露牺牲层的牺牲部分；在牺牲部分上形成可渗透HF的多孔材料的第一膜层；通过第一膜层去除牺牲部分来形成腔体；以及通过在第一膜层上形成第二膜层来密封第一膜层的孔隙。
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公开(公告)号：CN113375854A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110209989.7
申请日：2021-02-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , G·阿勒加托
IPC: G01L9/00
Abstract: 本公开的实施例包括腔和机械过滤结构的用于环境感测半导体器件。用于环境感测的半导体器件包括：由孔横穿的盖；以及被机械地耦接到盖来界定腔的主体，腔被插入在主体与盖之间。主体包括半导体本体和耦接结构，耦接结构被插入在半导体本体与盖之间并且横向地界定通道，通道将腔和孔流体地耦接。通道执行比由孔执行的机械过滤更精细的机械过滤。
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公开(公告)号：CN218545957U
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202222277065.3
申请日：2022-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种微机电器件。该微机电器件包括：基板；在基板上的第一保护层，不渗透蚀刻化学溶液；在第一保护层上的能够通过蚀刻化学溶液被去除的材料的牺牲层；在牺牲层上的不渗透蚀刻化学溶液的第二保护层；可渗透蚀刻化学溶液的多孔材料的第一膜层；在第一膜层与第一保护层之间的腔体；以及在第一膜层上的第二膜层，被配置为密封第一膜层的孔隙。
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公开(公告)号：CN212084950U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202020139175.1
申请日：2020-01-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： L·塞吉齐 , L·蒙塔格纳 , G·维萨利 , M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚
IPC: H01L21/67
Abstract: 本公开的实施例涉及集成部件。一种半导体材料的第一晶片具有表面。一种半导体材料的第二晶片包括衬底和在该衬底上的结构层。结构层集成了用于监测电磁辐射的检测器设备。第二晶片的结构层被耦合到第一晶片的表面。第二晶片的衬底被成形以形成微镜的定子、转子和移动质量块。定子和转子形成用于电容性地驱动移动质量块的组件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN220856393U
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202322141970.0
申请日：2023-08-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： F·韦尔切西 , G·加特瑞 , G·阿勒加托 , M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 , A·达内伊
Abstract: 本实用新型涉及一种微机电按钮器件、用户接口元件及其电子装置，包括：半导体材料的衬底、掩埋电极、结构层和帽。半导体材料的衬底具有前表面和后表面，前表面和后表面在水平面中具有延伸部，并且沿垂直于水平面的竖直轴线彼此相对；掩埋电极，在衬底上；结构层，包括移动电极，移动电极覆盖衬底，并且以分离距离弹性地悬置在掩埋电极上方以形成检测电容器；以及帽，耦合到结构层，并且具有面对结构层的第一主表面以及沿竖直轴线与第一主表面相对的第二主表面，帽被设计为机械耦合到电子装置的外壳的可变形部分，其中帽在第一主表面上具有致动部分。
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