公开(公告)号：CN119522151A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202380053214.2

申请日：2023-07-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吴昊晟 ,  张寿松 ,  唐建设 ,  J·P·多明 ,  S·达塔 ,  窟康浩 ,  S·德什潘德 ,  C·波拉德 ,  叶思伶 ,  P·迪普 ,  崔凝卓 ,  B·J·布朗 ,  陈辉

IPC: B24B37/015 ,  B24B49/14 ,  H01L21/67

Abstract: 一种化学机械抛光装置，所述装置具有加热系统、净化气体源、净化液体源、以及控制器。加热系统包括加热气体源、在平台上延伸的臂，以及在所述臂中的具有多个开口的歧管，所述歧管定位在平台上方且与抛光垫分离，以用于将加热气体输送至抛光垫上。控制器被配置为使得加热气体通过歧管和多个开口从加热气体源流动以在抛光操作期间加热抛光垫，并且使得装置执行净化操作，所述净化操作通过歧管和多个开口在从净化气体源流动净化气体与从净化液体源流动净化液体之间交替。

公开(公告)号：CN115066316A

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN202180013340.6

申请日：2021-06-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： H·桑达拉拉贾恩 ,  张寿松 ,  C·李 ,  J·P·多明 ,  S·达塔 ,  D·斯克里亚尔 ,  P·D·巴特菲尔德 ,  C·波拉德 ,  吴昊晟

IPC: B24B53/017 ,  B24B37/30 ,  B24B37/015 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67

Abstract: 一种化学机械抛光系统，其包括蒸汽产生器，该蒸汽产生器具有：加热元件，其对容器施加热量以产生蒸汽；开口，其将蒸汽输送至抛光垫上；第一阀，其在开口与容器之间的流体管线中；传感器，其监测蒸汽参数；及控制系统。控制系统经配置以：根据配方中的蒸汽输送排程使阀打开及关闭；接收来自传感器的蒸汽参数的测量值；接收蒸汽参数的目标值；用目标值及测量值作为输入来执行比例积分微分控制算法，从而控制第一阀和/或第二释压阀和/或加热元件，以使得在根据蒸汽输送排程打开阀之前测量值基本上到达目标值。

公开(公告)号：CN115066316B

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202180013340.6

申请日：2021-06-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： H·桑达拉拉贾恩 ,  张寿松 ,  C·李 ,  J·P·多明 ,  S·达塔 ,  D·斯克里亚尔 ,  P·D·巴特菲尔德 ,  C·波拉德 ,  吴昊晟

IPC: B24B53/017 ,  B24B37/30 ,  B24B37/015 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67

Abstract: 一种化学机械抛光系统，其包括蒸汽产生器，该蒸汽产生器具有：加热元件，其对容器施加热量以产生蒸汽；开口，其将蒸汽输送至抛光垫上；第一阀，其在开口与容器之间的流体管线中；传感器，其监测蒸汽参数；及控制系统。控制系统经配置以：根据配方中的蒸汽输送排程使阀打开及关闭；接收来自传感器的蒸汽参数的测量值；接收蒸汽参数的目标值；用目标值及测量值作为输入来执行比例积分微分控制算法，从而控制第一阀和/或第二释压阀和/或加热元件，以使得在根据蒸汽输送排程打开阀之前测量值基本上到达目标值。