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公开(公告)号：CN115066316A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202180013340.6
申请日：2021-06-28
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B53/017 , B24B37/30 , B24B37/015 , B08B3/10 , H01L21/67
Abstract: 一种化学机械抛光系统，其包括蒸汽产生器，该蒸汽产生器具有：加热元件，其对容器施加热量以产生蒸汽；开口，其将蒸汽输送至抛光垫上；第一阀，其在开口与容器之间的流体管线中；传感器，其监测蒸汽参数；及控制系统。控制系统经配置以：根据配方中的蒸汽输送排程使阀打开及关闭；接收来自传感器的蒸汽参数的测量值；接收蒸汽参数的目标值；用目标值及测量值作为输入来执行比例积分微分控制算法，从而控制第一阀和/或第二释压阀和/或加热元件，以使得在根据蒸汽输送排程打开阀之前测量值基本上到达目标值。
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公开(公告)号：CN115066316B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202180013340.6
申请日：2021-06-28
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B53/017 , B24B37/30 , B24B37/015 , B08B3/10 , H01L21/67
Abstract: 一种化学机械抛光系统，其包括蒸汽产生器，该蒸汽产生器具有：加热元件，其对容器施加热量以产生蒸汽；开口，其将蒸汽输送至抛光垫上；第一阀，其在开口与容器之间的流体管线中；传感器，其监测蒸汽参数；及控制系统。控制系统经配置以：根据配方中的蒸汽输送排程使阀打开及关闭；接收来自传感器的蒸汽参数的测量值；接收蒸汽参数的目标值；用目标值及测量值作为输入来执行比例积分微分控制算法，从而控制第一阀和/或第二释压阀和/或加热元件，以使得在根据蒸汽输送排程打开阀之前测量值基本上到达目标值。
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公开(公告)号：CN115135447B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202180014171.8
申请日：2021-06-24
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/30 , B24B57/02 , B24B53/017 , B24B37/015
Abstract: 在诸如化学机械系统之类的基板处理系统中，获得用于所述基板处理系统的多个液体流量控制器的更新后控制器配置数据。耦合至以太网络控制自动化技术(EtherCAT)总线的多个液体流量控制器(LFC)通过EtherCAT总线来自动地下载所述更新后控制器配置数据的副本。所述多个液体流量控制器中的各者控制来自所述基板处理系统中多个流体线的单独流体线的流体流量，通过所述多个流体线的流体流量是使用具有所述更新后控制器配置数据的所述多个液体流量控制器所控制的。
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公开(公告)号：CN115135447A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180014171.8
申请日：2021-06-24
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/30 , B24B57/02 , B24B53/017 , B24B37/015
Abstract: 在诸如化学机械系统之类的基板处理系统中，获得用于所述基板处理系统的多个液体流量控制器的更新后控制器配置数据。耦合至以太网络控制自动化技术(EtherCAT)总线的多个液体流量控制器(LFC)通过EtherCAT总线来自动地下载所述更新后控制器配置数据的副本。所述多个液体流量控制器中的各者控制来自所述基板处理系统中多个流体线的单独流体线的流体流量，通过所述多个流体线的流体流量是使用具有所述更新后控制器配置数据的所述多个液体流量控制器所控制的。
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