公开(公告)号：CN115135447B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202180014171.8

申请日：2021-06-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： R·马丁内兹 ,  H·X·宏 ,  D·斯克里亚尔 ,  F·阿莱姆 ,  J·兰加拉简 ,  W·沃兹沃思 ,  B·胡根森

IPC: B24B37/30 ,  B24B57/02 ,  B24B53/017 ,  B24B37/015

Abstract: 在诸如化学机械系统之类的基板处理系统中，获得用于所述基板处理系统的多个液体流量控制器的更新后控制器配置数据。耦合至以太网络控制自动化技术(EtherCAT)总线的多个液体流量控制器(LFC)通过EtherCAT总线来自动地下载所述更新后控制器配置数据的副本。所述多个液体流量控制器中的各者控制来自所述基板处理系统中多个流体线的单独流体线的流体流量，通过所述多个流体线的流体流量是使用具有所述更新后控制器配置数据的所述多个液体流量控制器所控制的。

公开(公告)号：CN115135447A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202180014171.8

申请日：2021-06-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： R·马丁内兹 ,  H·X·宏 ,  D·斯克里亚尔 ,  F·阿莱姆 ,  J·兰加拉简 ,  W·沃兹沃思 ,  B·胡根森

IPC: B24B37/30 ,  B24B57/02 ,  B24B53/017 ,  B24B37/015

Abstract: 在诸如化学机械系统之类的基板处理系统中，获得用于所述基板处理系统的多个液体流量控制器的更新后控制器配置数据。耦合至以太网络控制自动化技术(EtherCAT)总线的多个液体流量控制器(LFC)通过EtherCAT总线来自动地下载所述更新后控制器配置数据的副本。所述多个液体流量控制器中的各者控制来自所述基板处理系统中多个流体线的单独流体线的流体流量，通过所述多个流体线的流体流量是使用具有所述更新后控制器配置数据的所述多个液体流量控制器所控制的。