公开(公告)号：CN114097069B

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202080050133.3

申请日：2020-07-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·M·舒浩勒 ,  C·T·卡尔森 ,  L·布恩卡特 ,  D·伯拉尼克 ,  K·穆图卡马奇 ,  J·胡金斯 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 示例性基板处理系统可以包括限定传送区域的传送区域壳体，并包括基板支撑件与传送设备。传送设备可包括中心毂，所述中心毂具有壳体，并且包括第一轴与第二轴。壳体可与第二轴耦接，并且可以限定内部壳体容积。传送设备可以包括多个臂，所述多个臂等于多个基板支撑件中的基板支撑件的数量。多个臂中的每个臂可以围绕壳体的外部耦接。传送设备可包括设置在内部壳体容积内的多个臂毂。多个臂毂中的每个臂毂可以通过壳体与多个臂中的臂耦接。臂毂可与中心毂的第一轴耦接。

公开(公告)号：CN106575619B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201580041606.2

申请日：2015-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·贝拉 ,  K·韦洛尔 ,  A·康斯坦特 ,  J·纽曼 ,  J·伯拉尼克 ,  J·舒浩勒 ,  W·威弗 ,  R·沃派特 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/683

Abstract: 本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个板，所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道，所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管，所述供应歧管包括供应通道，所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管，所述返回歧管包括返回通道，所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板，其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道，以使传热流体流过所述多个板。

公开(公告)号：CN114286906A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202080060416.6

申请日：2020-07-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： B·莱尔顿 ,  A·K·萨布莱曼尼 ,  C·T·卡尔森

IPC: F16K1/20 ,  F16K49/00 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67

Abstract: 描述了隔离阀，以及包含隔离阀的腔室系统和使用隔离阀的方法。在一些实施例中，隔离阀可包括阀体和挡板组件。阀体可限定第一流体容积、第二流体容积和安置表面。挡板组件可包括设置在阀体内部的挡板，所述挡板具有与安置表面互补的挡板表面。挡板可在阀体内枢转至第一位置，使得挡板表面可远离安置表面，以允许在第一流体容积与第二流体容积之间的流体流动。挡板可在阀体内枢转至第二位置，使得挡板表面可靠近安置表面以形成非接触式密封，以限制在第一流体容积与第二流体容积之间的流体流动。

公开(公告)号：CN106575619A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580041606.2

申请日：2015-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·贝拉 ,  K·韦洛尔 ,  A·康斯坦特 ,  J·纽曼 ,  J·伯拉尼克 ,  J·舒浩勒 ,  W·威弗 ,  R·沃派特 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/683

Abstract: 本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个板，所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道，所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管，所述供应歧管包括供应通道，所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管，所述返回歧管包括返回通道，所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板，其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道，以使传热流体流过所述多个板。

公开(公告)号：CN114097071A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080050588.5

申请日：2020-07-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·M·舒浩勒 ,  L·布恩卡特 ,  C·T·卡尔森 ,  R·塔努 ,  K·穆图卡马奇 ,  J·胡金斯 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  B25J9/04

Abstract: 示例性基板处理系统可包括传送区域壳体，所述传送区域壳体界定与多个处理区域流体耦接的传送区域。传送区域壳体的侧壁可界定用于提供和接收基板的可密封存取。系统可包括多个基板支撑件，所述多个基板支撑件设置在传送区域内。系统可还包括具有中央毂的传送设备，中央毂包括第一轴和可与第一轴反向旋转的第二轴。传送设备可包括偏心毂，偏心毂至少部分地延伸穿过中央毂，并且偏心毂从中央毂的中心轴径向地偏移。传送设备可还包括与偏心毂耦接的终端受动器。终端受动器可包括多个臂，多个臂具有的臂数量等于多个基板支撑件中的基板支撑件的数量。

公开(公告)号：CN114097069A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080050133.3

申请日：2020-07-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： J·M·舒浩勒 ,  C·T·卡尔森 ,  L·布恩卡特 ,  D·伯拉尼克 ,  K·穆图卡马奇 ,  J·胡金斯 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 示例性基板处理系统可以包括限定传送区域的传送区域壳体，并包括基板支撑件与传送设备。传送设备可包括中心毂，所述中心毂具有壳体，并且包括第一轴与第二轴。壳体可与第二轴耦接，并且可以限定内部壳体容积。传送设备可以包括多个臂，所述多个臂等于多个基板支撑件中的基板支撑件的数量。多个臂中的每个臂可以围绕壳体的外部耦接。传送设备可包括设置在内部壳体容积内的多个臂毂。多个臂毂中的每个臂毂可以通过壳体与多个臂中的臂耦接。臂毂可与中心毂的第一轴耦接。