公开(公告)号：CN106575619B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201580041606.2

申请日：2015-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·贝拉 ,  K·韦洛尔 ,  A·康斯坦特 ,  J·纽曼 ,  J·伯拉尼克 ,  J·舒浩勒 ,  W·威弗 ,  R·沃派特 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/683

Abstract: 本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个板，所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道，所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管，所述供应歧管包括供应通道，所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管，所述返回歧管包括返回通道，所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板，其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道，以使传热流体流过所述多个板。

公开(公告)号：CN106575619A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580041606.2

申请日：2015-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·贝拉 ,  K·韦洛尔 ,  A·康斯坦特 ,  J·纽曼 ,  J·伯拉尼克 ,  J·舒浩勒 ,  W·威弗 ,  R·沃派特 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/683

Abstract: 本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个板，所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道，所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管，所述供应歧管包括供应通道，所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管，所述返回歧管包括返回通道，所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板，其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道，以使传热流体流过所述多个板。