公开(公告)号：CN106575619A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580041606.2

申请日：2015-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·贝拉 ,  K·韦洛尔 ,  A·康斯坦特 ,  J·纽曼 ,  J·伯拉尼克 ,  J·舒浩勒 ,  W·威弗 ,  R·沃派特 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/683

Abstract: 本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个板，所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道，所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管，所述供应歧管包括供应通道，所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管，所述返回歧管包括返回通道，所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板，其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道，以使传热流体流过所述多个板。

公开(公告)号：CN106575619B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201580041606.2

申请日：2015-07-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·贝拉 ,  K·韦洛尔 ,  A·康斯坦特 ,  J·纽曼 ,  J·伯拉尼克 ,  J·舒浩勒 ,  W·威弗 ,  R·沃派特 ,  B·莱尔顿

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/683

Abstract: 本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个板，所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道，所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管，所述供应歧管包括供应通道，所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管，所述返回歧管包括返回通道，所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板，其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道，以使传热流体流过所述多个板。

公开(公告)号：CN102160146B

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN200980138000.5

申请日：2009-09-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·M·布朗 ,  J·舒浩勒

IPC: H01L21/203

CPC classification number: C23C14/564 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/3447

Abstract: 本发明提供一种可用于物理气相沉积腔室中而适于遮蔽基板支撑件的遮盘。在一实施例中，所述遮盘包含碟状主体，所述主体具有外径部，设置在顶表面与底表面之间。所述碟状主体包含双重梯部以连接所述底表面至所述外径部。