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公开(公告)号：CN119517803A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411634967.5
申请日：2020-08-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/673
Abstract: 提供了一种用于检测存储在替换部件存储容器处的替换部件、晶片或用于替换部件的空载体的位置的方法。在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器。容器配置为存储用于电子处理系统的处理腔室的替换部件。根据第一映射模式移动机械臂，以使用在机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别容器中的一个或多个替换部件的位置。确定容器的不包含替换部件的区域。根据第二映射模式移动机械臂，以使用检测系统在容器的不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中至少一者在容器中的位置。在存储介质中记录一个或多个替换部件在容器中的位置的映射和空载体或晶片中的至少一者在容器中的位置的映射。
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公开(公告)号：CN102867764B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210342380.8
申请日：2006-04-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： M·利斯 , J·胡金斯 , C·卡尔森 , W·T·威弗 , R·劳伦斯 , E·英格哈特 , D·C·鲁泽克 , D·塞法缇 , M·库查 , K·范凯特 , V·霍斯金 , V·沙阿 , S·洪乔姆
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67184 , H01L21/67155 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的器件合格率表现、可重复性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(footprint)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一个方面中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，该组件适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的各个制程腔室。在一个实施例中，机械臂叶片适于限制基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。
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公开(公告)号：CN113906548A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202080036984.2
申请日：2020-05-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/677
Abstract: 一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。
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公开(公告)号：CN102867764A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210342380.8
申请日：2006-04-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： M·利斯 , J·胡金斯 , C·卡尔森 , W·T·威弗 , R·劳伦斯 , E·英格哈特 , D·C·鲁泽克 , D·塞法缇 , M·库查 , K·范凯特 , V·霍斯金 , V·沙阿 , S·洪乔姆
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67184 , H01L21/67155 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的器件合格率表现、可重复性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(footprint)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一个方面中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，该组件适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的各个制程腔室。在一个实施例中，机械臂叶片适于限制基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。
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公开(公告)号：CN113906548B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202080036984.2
申请日：2020-05-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/677
Abstract: 一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114097069B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202080050133.3
申请日：2020-07-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 示例性基板处理系统可以包括限定传送区域的传送区域壳体，并包括基板支撑件与传送设备。传送设备可包括中心毂，所述中心毂具有壳体，并且包括第一轴与第二轴。壳体可与第二轴耦接，并且可以限定内部壳体容积。传送设备可以包括多个臂，所述多个臂等于多个基板支撑件中的基板支撑件的数量。多个臂中的每个臂可以围绕壳体的外部耦接。传送设备可包括设置在内部壳体容积内的多个臂毂。多个臂毂中的每个臂毂可以通过壳体与多个臂中的臂耦接。臂毂可与中心毂的第一轴耦接。
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公开(公告)号：CN114424328A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080065879.1
申请日：2020-08-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/673
Abstract: 提供了一种用于检测存储在替换部件存储容器处的替换部件、晶片或用于替换部件的空载体的位置的方法。在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器。容器配置为存储用于电子处理系统的处理腔室的替换部件。根据第一映射模式移动机械臂，以使用在机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别容器中的一个或多个替换部件的位置。确定容器的不包含替换部件的区域。根据第二映射模式移动机械臂，以使用检测系统在容器的不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中至少一者在容器中的位置。在存储介质中记录一个或多个替换部件在容器中的位置的映射和空载体或晶片中的至少一者在容器中的位置的映射。
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公开(公告)号：CN113853673A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202080036999.9
申请日：2020-05-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/68 , B25J15/06 , B25J18/00
Abstract: 一种处理配件环适配器，包括刚性载体。刚性载体包括上表面和下表面。上表面包括第一远侧部分和第二远侧部分以支撑处理配件环。下表面包括第一区域和实心平面中央区域，第一区域与被配置为支撑晶片的终端受动器对接，实心平面中央区域与真空吸盘对接。
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公开(公告)号：CN102176425B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201110080003.7
申请日：2006-04-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： M·利斯 , J·胡金斯 , C·卡尔森 , W·T·威弗 , R·劳伦斯 , E·英格哈特 , D·C·鲁泽克 , D·塞法缇 , M·库查 , K·范凯特 , V·霍斯金 , V·沙阿 , S·洪乔姆
IPC: G03F7/20 , H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67184 , H01L21/67155 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的器件合格率表现、可重复性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(footprint)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一个方面中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，该组件适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的各个制程腔室。在一个实施例中，机械臂叶片适于限制基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。
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公开(公告)号：CN120048787A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510225082.8
申请日：2020-05-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/677
Abstract: 一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。
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