公开(公告)号：CN119517803A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411634967.5

申请日：2020-08-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： N·M·贝尔冈茨 ,  J·胡金斯 ,  D·麦考利斯特 ,  H·李

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673

Abstract: 提供了一种用于检测存储在替换部件存储容器处的替换部件、晶片或用于替换部件的空载体的位置的方法。在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器。容器配置为存储用于电子处理系统的处理腔室的替换部件。根据第一映射模式移动机械臂，以使用在机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别容器中的一个或多个替换部件的位置。确定容器的不包含替换部件的区域。根据第二映射模式移动机械臂，以使用检测系统在容器的不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中至少一者在容器中的位置。在存储介质中记录一个或多个替换部件在容器中的位置的映射和空载体或晶片中的至少一者在容器中的位置的映射。

公开(公告)号：CN114424328B

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202080065879.1

申请日：2020-08-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： N·M·贝尔冈茨 ,  J·胡金斯 ,  D·麦考利斯特 ,  H·李

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673

Abstract: 提供了一种用于检测存储在替换部件存储容器处的替换部件、晶片或用于替换部件的空载体的位置的方法。在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器。容器配置为存储用于电子处理系统的处理腔室的替换部件。根据第一映射模式移动机械臂，以使用在机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别容器中的一个或多个替换部件的位置。确定容器的不包含替换部件的区域。根据第二映射模式移动机械臂，以使用检测系统在容器的不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中至少一者在容器中的位置。在存储介质中记录一个或多个替换部件在容器中的位置的映射和空载体或晶片中的至少一者在容器中的位置的映射。

公开(公告)号：CN115335978A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202180024197.0

申请日：2021-03-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： N·M·贝尔冈茨 ,  D·K·考克斯 ,  A·伯格

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 通过第一机械臂将校准对象以目标定向放置在电子处理设备的第一站中，并且接着通过第一机械臂从所述站检取。使用第一机械臂、第二机械臂和/或装载锁定将校准对象传送至对准器站，其中校准对象具有对准器站处的第一定向。确定对准器站处的第一定向。基于第一定向确定特征误差值。对准器站使用特征误差值来对准将放置在第一站中的对象。

公开(公告)号：CN115349167A

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202180024281.2

申请日：2021-03-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·格林 ,  N·M·贝尔冈茨 ,  D·K·考克斯 ,  A·施密特

IPC: H01L21/673 ,  B65G49/06

Abstract: 一种载体，包括刚性主体与多个紧固件，刚性主体形成多个开口，多个紧固件被配置成经由多个开口可移除地附接到刚性主体。第一组指状物被配置为经由多个紧固件和多个开口可移除地附接到刚性主体。第一组指状物被配置为在载体在基板处理系统内的第一运输期间支撑第一内容物。第二组指状物被配置为经由多个紧固件和多个开口可移除地附接到刚性主体。第二组指状物被配置为在载体在基板处理系统内的第二运输期间支撑第二内容物。

公开(公告)号：CN115298808A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202180022805.4

申请日：2021-03-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·格林 ,  N·M·贝尔冈茨 ,  J·C·孟克

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/68

Abstract: 一组一个或更多个层架被配置以设置在基板处理系统的外壳系统内。该组一个或更多个层架包括大致被设置在一第一平面中的第一上表面、被配置以对齐第一上表面上的载体的载体对齐特征、大致设置在第一平面上方的第二平面中的第二上表面、以及被配置以在第二上表面上方对齐载体上的处理配件环的处理配件环对齐特征。

公开(公告)号：CN114424328A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202080065879.1

申请日：2020-08-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： N·M·贝尔冈茨 ,  J·胡金斯 ,  D·麦考利斯特 ,  H·李

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673

Abstract: 提供了一种用于检测存储在替换部件存储容器处的替换部件、晶片或用于替换部件的空载体的位置的方法。在电子处理系统的工厂接口的装载端口处接收容器。容器配置为存储用于电子处理系统的处理腔室的替换部件。根据第一映射模式移动机械臂，以使用在机械臂的终端受动器的远端处的检测系统来识别容器中的一个或多个替换部件的位置。确定容器的不包含替换部件的区域。根据第二映射模式移动机械臂，以使用检测系统在容器的不包含替换部件的区域内识别晶片或用于替换部件的空载体中至少一者在容器中的位置。在存储介质中记录一个或多个替换部件在容器中的位置的映射和空载体或晶片中的至少一者在容器中的位置的映射。