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公开(公告)号：CN1469154A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03106476.0
申请日：2003-02-27
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , Y10S359/90
Abstract: 多个微镜芯片集中制作在共用衬底上。每个微镜芯片由微镜单元构成，它包含框架、与框架有隔离部分的镜形成部分、以及连接镜形成部分与框架的扭杆。共用衬底受到腐蚀以提供隔离部分以及制作分割沟槽而将共用衬底分割成分立的微镜芯片。制作隔离部分和分割沟槽的腐蚀是彼此并行的。
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公开(公告)号：CN1242285C
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN03101716.9
申请日：2003-01-17
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
IPC: G02B6/35 , G02B26/08 , H01L21/3213
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。
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公开(公告)号：CN1467521A
公开(公告)日：2004-01-14
申请号：CN03101716.9
申请日：2003-01-17
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
IPC: G02B6/35 , G02B26/08 , H01L21/3213
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。
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公开(公告)号：CN1459643A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03102321.5
申请日：2003-01-30
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
CPC classification number: G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/4232 , G02B26/0841 , Y10S359/904
Abstract: 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。
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公开(公告)号：CN1207593C
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03102321.5
申请日：2003-01-30
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
CPC classification number: G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/4232 , G02B26/0841 , Y10S359/904
Abstract: 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101827781B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780101155.2
申请日：2007-10-31
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/058 , G02B26/0841
Abstract: 提供一种适于抑制驱动特性的劣化的微型可动元件以及包括这种微型可动元件的微型可动元件阵列。本发明的微型可动元件(X1)包括：具有第一驱动电极的可动部；第二驱动电极，用于在与第一驱动电极之间产生静电引力；第一导体部(22c)，其与第一驱动电极电连接；第二导体部(22b)，其与第二驱动电极电连接；以及第三导体部(21a)，其不与第一和第二驱动电极电连接，并且经由绝缘膜(23)与第一导体部(22c)接合且经由绝缘膜(23)与第二导体部(22b)接合。
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公开(公告)号：CN101334526A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810127305.3
申请日：2008-06-27
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81B3/0078 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件，包括基座框架、振荡部和使基座框架与振荡部彼此连接的连接部。振荡部具有可动功能部、连接至可动功能部的第一驱动电极以及连接至第一驱动电极的配重部。连接部限定振荡部的振荡运动的轴线。固定至基座框架的第二驱动电极与第一驱动电极配合工作产生用于振荡运动的驱动力。
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公开(公告)号：CN101145426A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710142782.2
申请日：2007-08-23
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01F17/00 , H01L23/522 , H01L27/08
CPC classification number: H01F19/04 , H03H2001/0092
Abstract: 本发明提供一种易于实现较高Q值的电感元件和集成电子组件。该电感元件，包括：衬底；线圈单元，与所述衬底分隔；和多个导电柱。所述线圈单元包括多个螺旋线圈，其中每个螺旋线圈包括螺旋形线圈引线。配置所述多个螺旋线圈，以使其缠绕方向相同，并且每一螺旋线圈的线圈引线包括在至少一个其它螺旋线圈的线圈引线之间延伸的部分。所述螺旋线圈的端部经由所述导电柱固定至所述衬底。本发明的集成电子组件包括这种电感元件。
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公开(公告)号：CN1988080A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610144641.X
申请日：2006-11-09
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种电子元件，包括衬底以及位于该衬底上的电容器单元。该电容器单元具有层叠结构，该层叠结构包括设置在该衬底上的第一电极层、与该第一电极层相对的第二电极层以及位于该第一电极层与该第二电极层之间的电介质层。该第一电极层具有多层结构，该多层结构包括与该电介质层接合的粘合金属层。该粘合金属层在该电介质层一侧设置有氧化物涂层。
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公开(公告)号：CN1685270A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN02829744.X
申请日：2002-10-10
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , H02N1/008
Abstract: 一种微型可动元件(X1)，具有在材料基板上一体成形的可动部(111)、框架(112)、和连接可动部与框架的连接部(113)，所述材料基板具有由含有中心导体层(110b)的多个导体层(110a～110c)和夹在导体层(110a～110c)间的绝缘层(110d、110e)构成的叠层结构。可动部(111)包含来源于中心导体层(110b)的第一结构体。框架(112)包含来源于中心导体层(110b)的第二结构体。连接部(113)包含多个扭杆(113a、113b)，该多个扭杆(113a、113b)来源于中心导体层(110b)，相对于第一结构体和第二结构体而连续连接，且相互电分离。
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