公开(公告)号：CN1242285C

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN03101716.9

申请日：2003-01-17

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 水野义博 ,  上田知史 ,  壶井修 ,  佐脇一平 ,  奥田久雄 ,  高马悟觉 ,  曽根田弘光 ,  山岸文雄

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H01L21/3213

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00182 ,  B81C2203/0109 ,  Y10S359/904

Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。

公开(公告)号：CN1467521A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN03101716.9

申请日：2003-01-17

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 水野义博 ,  上田知史 ,  壶井修 ,  佐脇一平 ,  奥田久雄 ,  高马悟觉 ,  曽根田弘光 ,  山岸文雄

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H01L21/3213

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00182 ,  B81C2203/0109 ,  Y10S359/904

Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。