一种LED芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN107689407B

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201710719615.3

    申请日:2017-08-21

    Abstract: 本发明公开了一种LED芯片及其制作方法,该LED芯片包括:衬底;设置在衬底上的外延结构;其中,外延结构分为多个LED原胞;外延结构的四周侧壁具有侧壁沟槽,侧壁沟槽用于降低光线在所述LED原胞内的全发射;相邻两个LED原胞之间具有原胞沟槽,通过原胞沟槽的底部露出衬底,所述原胞沟槽降低光线在所述LED原胞内的全反射以及漏电流;设置在原胞沟槽内的绝缘层;覆盖绝缘层的连接电极,连接电极电连接相邻的两个LED原胞。本发明技术方案中,通过侧壁沟槽降低光线在所述LED原胞内的全发射,通过原胞沟槽降低光线在所述LED原胞内的全反射以及漏电流,可以提高发光效率、降低漏电率以及提高外量子效率。

    光阻烘烤方法和在半导体基底上形成光阻层的方法

    公开(公告)号:CN108732876A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810478963.0

    申请日:2018-05-18

    Abstract: 本发明公开了一光阻烘烤方法和在半导体基底上形成光阻层的方法,其中所述光阻烘烤方法包括步骤:首先以一半导体基底的下部产生热量的方式烘烤被施涂于一半导体基底的一光阻材料层;其次,在所述光阻材料层的周围环境产生热量的方式烘烤所述光阻材料层,通过这样的方式,所述光阻材料层能够形成层叠于所述半导体基底的一光阻层,并保证所述光阻层的各个部分的溶剂含量一致,从而有利于保证后续的光刻工艺的稳定性。

    一种光热电分离的倒装LED芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN106449924B

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201610770822.7

    申请日:2016-08-30

    Abstract: 本发明公开种光热电分离的倒装LED芯片,在衬底上形成缓冲层,在缓冲层上形成N‑GaN,在N‑GaN上形成有源层,在有源层上形成P‑GaN,依次部分蚀刻P‑GaN和有源层直至裸露部分N‑GaN;在P‑GaN上形成金属反射层,在裸露部分N‑GaN形成欧姆接触层,在金属反射层和欧姆接触层上形成导热绝缘层,导热绝缘层上形成导热金属层、P电极和N电极,P电极穿过导热绝缘层与金属反射层连接,N电极穿过导热绝缘层与欧姆接触层连接。本发明还公开种光热电分离的倒装LED芯片制作方法。本发明实现LED芯片光、热及电三重分离,出光面无电极挡光,取光效率高,热量由导热金属层导出,增加芯片可靠性。

    一种等腰梯形式发光二极管的制备工艺

    公开(公告)号:CN106129192A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610567049.4

    申请日:2016-07-19

    CPC classification number: H01L33/0075

    Abstract: 本发明公开的一种发光二极管制备工艺,本发明的通过角度互补的方式制作具有等腰梯形截面的发光二极管,先通过光阻层和DBR阻挡层配合塑性,确定等腰梯形截面的倾斜角度,去掉光阻层后在DBR阻挡层之间的间隙中生长第二N‑GaN层、有源层以及P‑GaN,因此形成的发光二极管的角度由光阻层的角度决定,所以只需对光阻层角度进行控制就能够控制发光二极管的角度,而这个角度需要结合预先设定的LED灯高度、宽度等参数来控制。本发明根据发光二极管的宽度、高度来准确地控制反射光的出射角度,实现不同角度的出光结构,以避免光损失,提高出光量。

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