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公开(公告)号：CN103466956A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310376565.5
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊（14）的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫（20）的粗清洗处理部（18）、具有双流体喷嘴（42）的精清洗处理部（38）、具有擦拭垫（52）的液滴去除部（48）、和包括间隙（58）以及气体喷嘴（60）的干燥送风部（50）。利用清洗垫移动机构（24）以及擦拭垫移动机构（56）在清洗垫（20）以及擦拭垫（52）与启动加注辊（14）的外周面接触的第1位置、和清洗垫（20）以及擦拭垫（52）自启动加注辊（14）退避的第2位置之间切换清洗垫（20）以及擦拭垫（52）的位置。
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公开(公告)号：CN103466956B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310376565.5
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊（14）的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫（20）的粗清洗处理部（18）、具有双流体喷嘴（42）的精清洗处理部（38）、具有擦拭垫（52）的液滴去除部（48）、和包括间隙（58）以及气体喷嘴（60）的干燥送风部（50）。利用清洗垫移动机构（24）以及擦拭垫移动机构（56）在清洗垫（20）以及擦拭垫（52）与启动加注辊（14）的外周面接触的第1位置、和清洗垫（20）以及擦拭垫（52）自启动加注辊（14）退避的第2位置之间切换清洗垫（20）以及擦拭垫（52）的位置。
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公开(公告)号：CN101927231A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010212346.X
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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公开(公告)号：CN101927231B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201010212346.X
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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公开(公告)号：CN101431008A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810174786.3
申请日：2008-11-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , G03F7/16 , B05C13/02 , B05C5/00 , B05D1/00
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和涂敷装置和涂敷方法，其特征在于：在悬浮载物台上将矩形的被处理基板以简易的结构保持为适合处理的一定的姿势并稳定地进行悬浮搬送。第一(左侧)和第二(右侧)的搬送部(84L、84R)中的第一和第二保持部(106L、106R)，具有：分别通过真空吸附力结合在基板G的左侧两个角落的背面(下表面)和右侧两个角落的背面(下表面)的两个吸附垫(108L、108R)；沿着搬送方向(X方向)在隔开规定间隔的两个位置限制各吸附垫(108L、108R)在铅垂方向的位移并进行支撑的一对垫支撑部(110L、110R)；使上述一对垫支撑部(110L、110R)分别独立地进行升降移动或者升降位移的一对的垫致动器(112L、112R)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117316782A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310749324.4
申请日：2023-06-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/60
Abstract: 本公开提供一种接合装置和接合方法，能够提高基板彼此间的接合精度。本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、水平移动部、升降部、倾斜测定部以及控制部。第一保持部在下表面吸附保持第一基板。第二保持部设置于第一保持部的下方，在第二保持部的上表面吸附保持与第一基板进行接合的第二基板。水平移动部使第一基板与第二基板在水平方向上相对地移动。升降部使第二基板在与第一基板接近的接近位置同相比于接近位置而言与第一基板分离的分离位置之间进行升降。倾斜测定部测定第二保持部的倾斜。控制部控制各部。另外，控制部基于倾斜测定部的测定结果来计算第二基板的水平方向的位置。
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公开(公告)号：CN101685070A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200910176670.8
申请日：2009-09-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够高灵敏度地检测异物的光学式异物检测装置以及搭载它的处理液涂布装置。构成为使以水平状态载置在载物台(2)上的被处理基板(1)和具有沿上述基板(1)的宽度方向延伸的狭缝状喷出开口(11b)的处理液供给喷嘴(11)相对地移动，从而将从处理液供给喷嘴(11)带状地喷出的处理液涂布到基板(1)的表面。在上述处理液供给喷嘴(11)的相对移动方向的前方搭载有由光投射部(5)和受光部(6)构成的光透过型传感器单元。提供一种光学式异物检测装置，在沿着上述传感器单元的相对移动方向设定有多个检查区域，通过追溯异物的移动方向的历史记录而对由传感器单元得到的受光数据进行统计，来提高对异物的反应灵敏度。
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公开(公告)号：CN109923639B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201780069249.X
申请日：2017-10-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；旋转机构，其使第一保持部与第二保持部相对旋转；移动机构，其使第一保持部与所述第二保持部沿水平方向相对移动；三个位置测量部，所述三个位置测量部设置于通过旋转机构进行旋转的第一保持部或第二保持部，并且测量该第一保持部或第二保持部的位置；以及控制部，其基于该三个位置测量部的测量结果来控制旋转机构和移动机构。
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公开(公告)号：CN109923639A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780069249.X
申请日：2017-10-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；旋转机构，其使第一保持部与第二保持部相对旋转；移动机构，其使第一保持部与所述第二保持部沿水平方向相对移动；三个位置测量部，所述三个位置测量部设置于通过旋转机构进行旋转的第一保持部或第二保持部，并且测量该第一保持部或第二保持部的位置；以及控制部，其基于该三个位置测量部的测量结果来控制旋转机构和移动机构。
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公开(公告)号：CN102157424A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110025022.X
申请日：2011-01-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供基板输送装置及基板输送方法，在以张的形式1张1张地水平输送被处理基板的基板处理装置中缩短了从基板搬入到输送开始的生产节拍时间并提高了生产率。该基板输送装置具有：悬浮用载物台，其使被处理基板悬浮；一对导轨，其平行配置在悬浮用载物台的左右侧方；多个基板载持件，其能分别沿着一对导轨移动，能从下方吸附保持基板的边缘部；对准部件，其相对于被搬入到悬浮用载物台的基板搬入位置的基板从待机位置到规定位置自由进退，与基板接触而将该基板配置在规定位置；基板支承部件，其在悬浮用载物台的基板搬入位置处从该基板的下方支承被对准部件配置在规定位置的基板；控制部，其控制基板载持件、对准部件及基板支承部件的动作。
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