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公开(公告)号：CN114121716A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110950623.5
申请日：2021-08-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本公开涉及一种基板处理装置和基板处理方法。接合装置包括第一保持部、第二保持部以及移动机构。所述第一保持部用于从所述第一基板的上方保持所述第一基板。所述第二保持部用于从所述第二基板的下方保持所述第二基板。所述移动机构用于使所述第一保持部与所述第二保持部的相对位置在基板交接位置与接合位置之间移动。所述控制装置使所述搬送装置在所述搬送装置从相对于所述接合装置的基板搬入搬出位置开始移动后，同所述第一保持部与所述第二保持部的所述相对位置返回到所述基板交接位置同时地到达所述基板搬入搬出位置、或在所述第一保持部与所述第二保持部的所述相对位置返回到所述基板交接位置之前到达所述基板搬入搬出位置。
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公开(公告)号：CN109923639B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201780069249.X
申请日：2017-10-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；旋转机构，其使第一保持部与第二保持部相对旋转；移动机构，其使第一保持部与所述第二保持部沿水平方向相对移动；三个位置测量部，所述三个位置测量部设置于通过旋转机构进行旋转的第一保持部或第二保持部，并且测量该第一保持部或第二保持部的位置；以及控制部，其基于该三个位置测量部的测量结果来控制旋转机构和移动机构。
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公开(公告)号：CN109923639A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780069249.X
申请日：2017-10-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；旋转机构，其使第一保持部与第二保持部相对旋转；移动机构，其使第一保持部与所述第二保持部沿水平方向相对移动；三个位置测量部，所述三个位置测量部设置于通过旋转机构进行旋转的第一保持部或第二保持部，并且测量该第一保持部或第二保持部的位置；以及控制部，其基于该三个位置测量部的测量结果来控制旋转机构和移动机构。
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公开(公告)号：CN116682759A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310680581.7
申请日：2017-10-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/50 , H01L21/48 , H01L21/18 , H01L21/66
Abstract: 提供接合装置、接合系统、接合方法和计算机存储介质。将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；移动部，其使第一保持部和第二保持部沿水平方向相对移动；激光干涉仪，其测量通过该移动部而移动的第一保持部或第二保持部的位置；线性标尺，其测量该移动部的位置；以及控制部，其使用激光干涉仪的测量结果和该线性标尺的测量结果来控制移动部。
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公开(公告)号：CN109923640B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201780069273.3
申请日：2017-10-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；移动部，其使第一保持部和第二保持部沿水平方向相对移动；激光干涉仪，其测量通过该移动部而移动的第一保持部或第二保持部的位置；线性标尺，其测量该移动部的位置；以及控制部，其使用激光干涉仪的测量结果和该线性标尺的测量结果来控制移动部。
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公开(公告)号：CN109923640A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780069273.3
申请日：2017-10-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；移动部，其使第一保持部和第二保持部沿水平方向相对移动；激光干涉仪，其测量通过该移动部而移动的第一保持部或第二保持部的位置；线性标尺，其测量该移动部的位置；以及控制部，其使用激光干涉仪的测量结果和该线性标尺的测量结果来控制移动部。
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