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公开(公告)号：CN118629897A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410227709.9
申请日：2024-02-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01J37/32 , H01L21/683 , H01L21/50
Abstract: 本发明提供一种接合装置、接合系统以及接合方法，能够抑制在基板彼此接合时产生的接合不良。本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、撞击件以及离子发生器。第一保持部从第一基板的上方吸附保持所述第一基板。第二保持部配置在比所述第一保持部靠下方的位置，从第二基板的下方吸附保持所述第二基板。撞击件按压所述第一基板的中心部来使该第一基板的中心部与所述第二基板接触。离子发生器配置在比所述第二保持部靠上方的位置。
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公开(公告)号：CN118782522A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410358666.8
申请日：2024-03-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 牧哲也
IPC: H01L21/68
Abstract: 本公开提供一种接合装置和接合方法，能够使重合基板的接合精度提高。本公开的接合装置具备第一保持部、第二保持部、移动机构、粗调整部以及微调整部。第一保持部从第一基板的上方对该第一基板进行吸附保持。第二保持部配置于比第一保持部靠下方的位置，从第二基板的下方对该第二基板进行吸附保持。移动机构使第一保持部和第二保持部中的一方靠近另一方。粗调整部对被第一保持部吸附保持之前的第一基板的旋转方向上的位置进行粗调整。微调整部具备通过使压电元件移位来使第一保持部旋转的至少一个第一驱动部，所述微调整部使用第一驱动部来对被吸附保持于第一保持部的第一基板的旋转方向上的位置进行微调整。
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公开(公告)号：CN118629936A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410224564.7
申请日：2024-02-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 牧哲也
IPC: H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67 , H01J37/32
Abstract: 本公开提供基板定位装置、基板定位方法及接合装置，提高基板的定位精度。基板定位装置具备用于保持基板的保持部、以及用于使保持部旋转的旋转机构。旋转机构具备旋转轴部、轴承部、基底部、第一驱动部、衰减机构、锁定机构以及第二驱动部。旋转轴部固定于保持部。轴承部以不与旋转轴部接触的状态支承轴承部。基底部将轴承部固定。第一驱动部用于使旋转轴部旋转。衰减机构包括固定部和能够相对于固定部滑动的可动部，固定部连接于基底部和旋转轴部中的一方，可动部连接于基底部和旋转轴部中的另一方，衰减机构用于产生针对旋转轴部与基底部的相对动作的衰减力。锁定机构用于将可动部固定。第二驱动部用于对可动部被固定了的衰减机构进行微量驱动。
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公开(公告)号：CN117316782A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202310749324.4
申请日：2023-06-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/60
Abstract: 本公开提供一种接合装置和接合方法，能够提高基板彼此间的接合精度。本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、水平移动部、升降部、倾斜测定部以及控制部。第一保持部在下表面吸附保持第一基板。第二保持部设置于第一保持部的下方，在第二保持部的上表面吸附保持与第一基板进行接合的第二基板。水平移动部使第一基板与第二基板在水平方向上相对地移动。升降部使第二基板在与第一基板接近的接近位置同相比于接近位置而言与第一基板分离的分离位置之间进行升降。倾斜测定部测定第二保持部的倾斜。控制部控制各部。另外，控制部基于倾斜测定部的测定结果来计算第二基板的水平方向的位置。
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公开(公告)号：CN115394680A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210521583.7
申请日：2022-05-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及接合装置和接合方法。提供一种提高基板彼此的接合精度的技术。接合装置包括第1保持部、第2保持部、第1干涉仪、壳体、气体供给部和气流控制盖。第1保持部对第1基板进行吸附保持。第2保持部对第2基板进行吸附保持。第1干涉仪通过向第2保持部或与第2保持部一起在第1水平方向上移动的第1物体照射光，从而测量到第2保持部或第1物体为止的第1水平方向上的距离。壳体收纳第1保持部、第2保持部和第1干涉仪。气体供给部设于壳体的侧面，向壳体的内部供给气体。气流控制盖设于壳体的内部，将自气体供给部供给来的气体的流动的一部分朝向自第1干涉仪照射的光的第1路径转换方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113257732A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110152066.2
申请日：2021-02-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供使基板的定位精度提高的基板定位装置、基板定位方法以及接合装置。本公开的基板定位装置具备保持部和旋转机构。保持部保持基板。旋转机构使保持部旋转。另外，旋转机构具备旋转轴部、轴承部、基座部、驱动部、以及阻尼机构。旋转轴部固定于保持部。轴承部以未接触状态支承旋转轴部。基座部固定轴承部。驱动部使旋转轴部旋转。阻尼机构包括与基座部连接的轨道和与旋转轴部连接的滑动件，利用在轨道与滑动件之间产生的阻力产生针对旋转轴部与基座部之间的相对动作的阻尼力。
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公开(公告)号：CN102681350A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210043661.3
申请日：2012-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种局部曝光装置，调整在基板面内较细地设定的每个区域的曝光量，提高显影处理后抗蚀剂残留膜的均匀性，抑制布线图案的线宽以及间距的偏差。具备：具有在基板输送路径上方沿着与基板输送方向相交叉的方向排列的多个发光元件的光源、能够选择性地将构成光源的多个发光元件中的一个或者多个作为发光控制单位来进行发光驱动的发光驱动部、被设置成在被处理基板没有在光源下方输送的状态下能够沿着光源对被处理基板照射光的光照射位置而在基板宽度方向上进退来检测由光源照射的光照度的照度检测单元、存储由照度检测单元检测出的照度与发光元件的驱动电流值之间的关系作为相关表并且控制由发光驱动部对发光元件进行的驱动的控制部。
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公开(公告)号：CN113257732B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202110152066.2
申请日：2021-02-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供使基板的定位精度提高的基板定位装置、基板定位方法以及接合装置。本公开的基板定位装置具备保持部和旋转机构。保持部保持基板。旋转机构使保持部旋转。另外，旋转机构具备旋转轴部、轴承部、基座部、驱动部、以及阻尼机构。旋转轴部固定于保持部。轴承部以未接触状态支承旋转轴部。基座部固定轴承部。驱动部使旋转轴部旋转。阻尼机构包括与基座部连接的轨道和与旋转轴部连接的滑动件，利用在轨道与滑动件之间产生的阻力产生针对旋转轴部与基座部之间的相对动作的阻尼力。
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公开(公告)号：CN119268532A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202410842056.5
申请日：2024-06-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 牧哲也
Abstract: 本公开提供一种距离测定装置、距离测定方法、接合装置以及接合方法，即使在静电电容传感器与测定对象物之间没有导通的情况下，也能够进行使用静电电容传感器的距离测定。本公开的距离测定装置具备第一构件和静电电容传感器。第一构件相对于为导体或半导体的测定对象物以非接触的方式相向配置。静电电容传感器设置于第一构件，检测与测定对象物之间的距离。第一构件由导电性的构件形成，并且，静电电容传感器经由第一构件接地。
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公开(公告)号：CN116895562A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310321921.7
申请日：2023-03-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 牧哲也
Abstract: 本发明提供一种接合装置、接合系统、接合方法以及存储介质，在将基板彼此接合的接合技术中提高基板彼此的接合精度。接合装置是将基板彼此进行接合的装置，具备第一保持部、第二保持部、移动部、壳体、标尺构件及读取头。第一保持部从第一基板的上方吸附保持第一基板。第二保持部从第二基板的下方吸附保持第二基板。移动部使第一保持部和第二保持部中的一方相对于另一方沿第一水平方向及与第一水平方向正交的第二水平方向移动。壳体收容第一保持部、第二保持部及移动部。标尺构件配置于壳体的内部，具有表示第一水平方向及第二水平方向上的位置的刻度。读取头与第一保持部和第二保持部中的一方一体地移动，并读取标尺构件的刻度来测量一方的位置。
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