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公开(公告)号：CN116917809A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202280013308.2
申请日：2022-01-31
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/038
摘要： 本发明涉及一种负型感光性组合物，是用于形成中空结构体的顶板部的负型感光性组合物，其含有含环氧基化合物、阳离子聚合引发剂、多官能(甲基)丙烯酸酯化合物和光自由基聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN118696275A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202380021885.0
申请日：2023-02-16
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004 , C09D163/00 , C09D201/00 , G03F7/038 , G03F7/40 , H05K3/00
摘要： 采用中空结构体(100)的制造方法，该中空结构体包括凹部(15)和将凹部(15)的开口面封堵的顶板部，使用支承体(50)与抗蚀剂层(30)的层叠体(80)形成侧壁(20)及顶板部中的至少一者，支承体(50)由波长365nm的光线透过率为85％以上且照射了波长365nm时的雾度值为1.0％以下的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成，抗蚀剂层(30)由利用负型感光性组合物形成的感光性层形成，进行下述操作：隔着支承体(50)对抗蚀剂层(30)进行曝光，将曝光后的层叠体(80)用含有有机溶剂的显影液显影，形成负型图案。根据该制造方法，在形成中空结构体的侧壁或顶板部时，能够实现图案的光刻特性(形状、缺陷减少)的进一步提高，能够稳定地制造中空结构体。
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公开(公告)号：CN102254789A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110083255.5
申请日：2011-03-30
申请人： 东京应化工业株式会社
CPC分类号： H01L21/02057 , C09D9/005 , C11D7/5027 , H01L21/6835 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381 , Y10T156/1111 , Y10T156/1116 , Y10T156/19
摘要： 本发明提供一种在短时间内容易地从基板上剥离支承板的剥离方法，其为将利用粘接剂粘贴于设有在厚度方向贯通的贯通孔的支承板的基板从该支承板剥离的方法，其中，包括有经由贯通孔使剥离液与粘接剂接触来溶解粘接剂的工序，粘接剂为以烃树脂为粘着成分的粘接剂，剥离液为粘度为1.3mPa·s以下、且对粘接剂的溶解速度为30nm/sec以上的烃系溶剂。
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公开(公告)号：CN116018558A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202180046897.X
申请日：2021-06-02
申请人： 三亚普罗股份有限公司 , 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明采用含有含环氧基树脂与阳离子聚合引发剂的负型感光性树脂组合物，包含以下述通式(I0)表示的锍盐。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。A是以‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑表示的基团。X‑表示一价的多原子阴离子。
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公开(公告)号：CN113960886A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202110596858.9
申请日：2021-05-28
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 本发明涉及中空结构体的制造方法、及中空封装体的制造方法。提供能抑制因固化操作所致的顶板部的变形、且能稳定地制造强度被进一步提高的中空结构体的制造方法。中空结构体的制造方法具有下述工序：配置具有负型感光性树脂膜的感光性抗蚀剂膜的工序；将配置后的感光性树脂膜曝光的工序；对曝光后的感光性树脂膜加热处理的工序；将加热处理后的感光性树脂膜显影形成负型图案的工序；和对显影后的负型图案进一步加热处理使其固化得到顶板部由感光性树脂膜的固化体形成的中空结构体的工序，通过于150℃以下加热10分钟以上后进一步于高于150℃的温度加热的操作、或照射紫外线后于100℃以上加热的操作进行在显影后进行的加热处理。
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公开(公告)号：CN107230613A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710183294.X
申请日：2017-03-24
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： H01L21/20 , H01L23/14 , C09D163/00 , C09D163/02 , C09D183/06 , C09D133/14 , C09D5/08 , C09D7/12
CPC分类号： H01L21/2007 , C09D5/08 , C09D133/14 , C09D163/00 , C09D183/06 , H01L23/145
摘要： 本发明提供一种可通过涂布而顺利地形成耐化学药品性高的分离层的新型分离层形成用组合物。所述分离层形成用组合物用于形成层合体中的分离层，所述层合体是介由粘接层和通过照射光而改性的所述分离层、将基板和透光的支撑体进行层合而形成的，所述分离层形成用组合物含有聚合性树脂成分及聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN117420731A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202310839066.9
申请日：2023-07-10
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 本发明涉及负型感光性组合物及图案形成方法。采用含有Novolac型多官能芳香族环氧树脂(Ap)、3官能环氧单体(Am)、和式(I0)表示的锍盐的负型感光性组合物。使质量比(Am)/(Ap)为5/5～8/2。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、羟基(多)亚烷基氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。L为‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑。X‑表示一价的多原子阴离子。[化学式1]
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公开(公告)号：CN114137796A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202110875042.X
申请日：2021-07-30
申请人： 东京应化工业株式会社
摘要： 本发明提供一种负型感光性组合物，其固化膜内部的应力被抑制得较低，并且模制抗性得以提高，还提供图案形成方法以及中空结构体的制造方法。所述负型感光性组合物含有含环氧基化合物以及阳离子聚合引发剂，含环氧基化合物包含：(A1)成分，环氧当量为300g/eq.以上的环氧树脂；(A2)成分，环氧当量比(A1)成分小的特定的酚醛清漆型环氧树脂，(A1)成分的含量相对于含环氧基化合物的总质量(100质量％)为60～90质量％，(A2)成分的含量相对于含环氧基化合物的总质量(100质量％)为10～40质量％。
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