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公开(公告)号：CN113260921A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201980084592.0
申请日：2019-12-25
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供用于利用h线的曝光且镀覆液抗性及裂纹抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物；具备由化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜；及感光性干膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模基板、使用带铸模基板的镀覆造型物的制造方法。化学放大型正型感光性树脂组合物为了制作在具有金属表面的基板上形成镀覆造型物用的铸模而使用，含有产酸剂(A)与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)，产酸剂(A)包含具有特定萘二甲酰亚胺骨架的产酸剂，丙烯酸树脂相对于树脂(B)与树脂(B)以外的树脂的合计比例为70质量％以上。
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公开(公告)号：CN117420731A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202310839066.9
申请日：2023-07-10
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明涉及负型感光性组合物及图案形成方法。采用含有Novolac型多官能芳香族环氧树脂(Ap)、3官能环氧单体(Am)、和式(I0)表示的锍盐的负型感光性组合物。使质量比(Am)/(Ap)为5/5～8/2。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、羟基(多)亚烷基氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。L为‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑。X‑表示一价的多原子阴离子。[化学式1]
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公开(公告)号：CN115917432A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180045119.9
申请日：2021-06-07
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够形成尺寸均匀的镀覆造形物的、可利用光刻法形成镀覆用的铸模的化学放大型感光性组合物、具备由该化学放大型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、使用所述化学放大型正型感光性组合物的带镀覆用铸模的基板的制造方法、使用通过上述方法制造的带铸模基板的镀覆造形物的制造方法。在包含利用活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)的化学放大型感光性组合物中掺混包含特定结构的香豆素化合物的香豆素化合物(C)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111381444A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911374169.2
申请日：2019-12-23
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供了可适用于h线进行的曝光且镀敷液抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物、具备由该化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用了所述化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、使用了所述化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模基板的制造方法及使用了该带铸模基板的镀敷造形物的制造方法。含有通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)和对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)的化学放大型正型感光性树脂组合物中，产酸剂(A)包含具有特定的萘酰亚胺骨架的产酸剂,树脂(B)包含丙烯酸树脂。
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公开(公告)号：CN118696275A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202380021885.0
申请日：2023-02-16
Applicant: 东京应化工业株式会社
IPC: G03F7/004 , C09D163/00 , C09D201/00 , G03F7/038 , G03F7/40 , H05K3/00
Abstract: 采用中空结构体(100)的制造方法，该中空结构体包括凹部(15)和将凹部(15)的开口面封堵的顶板部，使用支承体(50)与抗蚀剂层(30)的层叠体(80)形成侧壁(20)及顶板部中的至少一者，支承体(50)由波长365nm的光线透过率为85％以上且照射了波长365nm时的雾度值为1.0％以下的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜构成，抗蚀剂层(30)由利用负型感光性组合物形成的感光性层形成，进行下述操作：隔着支承体(50)对抗蚀剂层(30)进行曝光，将曝光后的层叠体(80)用含有有机溶剂的显影液显影，形成负型图案。根据该制造方法，在形成中空结构体的侧壁或顶板部时，能够实现图案的光刻特性(形状、缺陷减少)的进一步提高，能够稳定地制造中空结构体。
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公开(公告)号：CN110471257A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910364760.3
申请日：2019-04-30
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明的技术问题在于提供高灵敏度且容易形成截面形状为矩形的抗蚀剂图案的化学放大型正型感光性树脂组合物、具备由该化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用所述的化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、使用所述的化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模的基板的制造方法、和使用该带铸模的基板的镀敷造形物的制造方法。本发明的解决方案在于使化学放大型正型感光性树脂组合物中含有路易斯酸性化合物(C)，所述化学放大型正型感光性树脂组合物包含通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、和对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)。
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公开(公告)号：CN119620544A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202510043128.4
申请日：2019-12-25
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供用于利用h线的曝光且镀覆液抗性及裂纹抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物；具备由化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜；及感光性干膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模基板、使用带铸模基板的镀覆造型物的制造方法。化学放大型正型感光性树脂组合物为了制作在具有金属表面的基板上形成镀覆造型物用的铸模而使用，含有产酸剂(A)与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)，产酸剂(A)包含具有特定萘二甲酰亚胺骨架的产酸剂，丙烯酸树脂相对于树脂(B)与树脂(B)以外的树脂的合计比例为70质量％以上。
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公开(公告)号：CN111919174A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201980021981.9
申请日：2019-01-28
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种镀敷造形物的制造方法，能够抑制在使用感光性组合物来形成作为镀敷造形物形成用的铸模使用的图案时的该图案中的底脚，同时能够使用所述铸模形成对基板上的金属表面的密合性良好的镀敷造形物。使用包含规定的结构的含硫化合物及/或含氮化合物的感光性组合物形成用作镀敷造形物形成用的铸模的抗蚀剂图案，并在形成镀敷造形物前，对从作为铸模使用的抗蚀剂图案的非抗蚀剂部中所露出的、由金属构成的表面实施灰化。
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