知搜-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

7 条记录 (耗时 0.03 秒)

    化学放大型正型感光性树脂组合物
    2.
    发明授权
    化学放大型正型感光性树脂组合物 有权

    公开(公告)号：CN107390472B

    公开(公告)日：2022-09-06

    申请号：CN201710310288.6

    申请日：2017-05-04

    申请人： 东京应化工业株式会社

    发明人： 海老泽和明 ,  山本悠太

    IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/20

    摘要： 本发明提供化学放大型正型感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的带铸模的基板的制造方法和使用该带铸模的基板的镀覆造形物的制造方法，其中，使用所述化学放大型正型感光性树脂组合物，在具有金属表面的基板的金属表面上形成成为镀覆造形物的铸模的抗蚀剂图案的情况下，能够抑制在非抗蚀剂部底部(支承体表面侧)的宽度比顶部(抗蚀剂层的表面侧)的宽度窄的“底脚”的产生、金属基板表面的改性、和显影残渣的产生。使包含(A)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂、(B)通过酸的作用而对于碱的溶解性增大的树脂的化学放大型正型感光性树脂组合物含有特定结构的巯基化合物。

    化学放大型感光性组合物、感光性干膜、带镀覆用铸模的基板的制造方法及镀覆造形物的制造方法
    4.
    发明公开
    化学放大型感光性组合物、感光性干膜、带镀覆用铸模的基板的制造方法及镀覆造形物的制造方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN116157739A

    公开(公告)日：2023-05-23

    申请号：CN202180058111.6

    申请日：2021-07-07

    申请人： 东京应化工业株式会社

    发明人： 小岛大辅 ,  山本悠太 ,  川上晃也

    IPC分类号： G03F7/004

    摘要： 本发明提供即使在形成膜厚较厚的图案化的抗蚀剂膜的情况下，也可形成非抗蚀剂部的截面形状为矩形、对于镀覆液的抗性较高的图案化的抗蚀剂膜的化学放大型正型感光性组合物、具备由该化学放大型正型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、带镀覆用铸模的基板的制造方法、镀覆造形物的制造方法。在包含利用活性光线或者放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)及对碱的溶解性会增大的树脂(B)的正型化学放大型感光性组合物中，含有包含规定量的源自满足规定条件的交联性单体的结构单元(bL1)的丙烯酸树脂(B1a)作为树脂(B)，并将从丙烯酸树脂(B1a)中去除结构单元(bL1)的假想非交联丙烯酸树脂的玻璃化转变温度的计算值设为90℃以上120℃以下。

    感光性干膜、层叠薄膜、层叠薄膜的制造方法及图案化的抗蚀剂膜的制造方法
    5.
    发明公开
    感光性干膜、层叠薄膜、层叠薄膜的制造方法及图案化的抗蚀剂膜的制造方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN116635788A

    公开(公告)日：2023-08-22

    申请号：CN202180087325.6

    申请日：2021-11-30

    申请人： 东京应化工业株式会社

    发明人： 桃泽绫 ,  山本悠太

    IPC分类号： G03F7/004

    摘要： 本发明提供一种感光性干膜，其由化学放大型正型感光性组合物构成，能够抑制由所含有的树脂引起的乳浊和分离，且能够抑制在加热而去除溶剂时产生的气泡的残留。由化学放大型正型感光性组合物构成的感光性干膜包含：产酸剂(A)；树脂(B)，对碱的溶解性因酸的作用而增大；有机溶剂(S)，树脂(B)包含丙烯酸树脂(B3)，丙烯酸树脂(B3)包含结构单元(B3a)，结构单元(B3a)源自包含酸非解离性的含脂环式烃基基团的(甲基)丙烯酸酯，有机溶剂(S)包含满足条件I)及II)的高沸点有机溶剂(S1)。I)在大气压下的沸点为150℃以上。II)与汉森溶解度参数相关的、氢键的能量项δh的值为11(MPa)0.5以下。