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公开(公告)号:CN102254789A
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN201110083255.5
申请日:2011-03-30
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: H01L21/02057 , C09D9/005 , C11D7/5027 , H01L21/6835 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381 , Y10T156/1111 , Y10T156/1116 , Y10T156/19
Abstract: 本发明提供一种在短时间内容易地从基板上剥离支承板的剥离方法,其为将利用粘接剂粘贴于设有在厚度方向贯通的贯通孔的支承板的基板从该支承板剥离的方法,其中,包括有经由贯通孔使剥离液与粘接剂接触来溶解粘接剂的工序,粘接剂为以烃树脂为粘着成分的粘接剂,剥离液为粘度为1.3mPa·s以下、且对粘接剂的溶解速度为30nm/sec以上的烃系溶剂。
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公开(公告)号:CN102254789B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201110083255.5
申请日:2011-03-30
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: H01L21/02057 , C09D9/005 , C11D7/5027 , H01L21/6835 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381 , Y10T156/1111 , Y10T156/1116 , Y10T156/19
Abstract: 本发明提供一种在短时间内容易地从基板上剥离支承板的剥离方法,其为将利用粘接剂粘贴于设有在厚度方向贯通的贯通孔的支承板的基板从该支承板剥离的方法,其中,包括有经由贯通孔使剥离液与粘接剂接触来溶解粘接剂的工序,粘接剂为以烃树脂为粘着成分的粘接剂,剥离液为粘度为1.3mPa·s以下、且对粘接剂的溶解速度为30nm/sec以上的烃系溶剂。
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