公开(公告)号：CN116018558A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202180046897.X

申请日：2021-06-02

Applicant: 三亚普罗股份有限公司 ,  东京应化工业株式会社

Inventor： 中尾拓人 ,  柴垣智幸 ,  中村友治 ,  山形宪一 ,  近藤崇弘 ,  增岛正宏 ,  今井洋文

IPC: G03F7/004

Abstract: 本发明采用含有含环氧基树脂与阳离子聚合引发剂的负型感光性树脂组合物，包含以下述通式(I0)表示的锍盐。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。A是以‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑表示的基团。X‑表示一价的多原子阴离子。

公开(公告)号：CN114545731A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202111357295.4

申请日：2021-11-16

Applicant: 东京应化工业株式会社 ,  三亚普罗股份有限公司

Inventor： 矶部信吾 ,  井上朋之 ,  中村友治 ,  中尾拓人

IPC: G03F7/004 ,  G02B3/00

Abstract: 本发明涉及光学部件形成用感光性组合物、固化物的制造方法、微透镜的制造方法、微透镜图案的制造方法、及微透镜。提供能够形成光线透过率高的微透镜等光学部件的光学部件形成用感光性组合物、使用上述的光学部件形成用感光性组合物的固化物的制造方法、使用上述的光学部件形成用感光性组合物的微透镜的制造方法、使用上述的光学部件形成用感光性组合物的微透镜图案的制造方法、和微透镜。使用下述感光性组合物，其包含光阳离子固化剂(A)、丙烯酸树脂(B)、和不属于丙烯酸树脂(B)的交联剂(C)，光阳离子固化剂(A)为包含特定结构的阴离子部的鎓盐，丙烯酸树脂(B)为具备具有阳离子聚合基团的结构单元(b1)的丙烯酸树脂。

公开(公告)号：CN106795107A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201580054732.1

申请日：2015-10-13

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 冈昌明 ,  中村友治

IPC: C07C309/64 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08G59/68

CPC classification number: C07C309/65 ,  C07C309/64 ,  C07C309/73 ,  C07D311/12 ,  C08G59/68 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明提供含有对i射线具有高的光灵敏度、耐热稳定性优异、在疏水性材料中的溶解性优异的磺酸酯化合物的非离子系光酸产生剂及含有该非离子系光酸产生剂的光刻用树脂组合物，本发明为一种磺酸酯化合物，其特征在于，由通式(1)表示。[式(1)中，R1表示碳原子数6～18的芳基或碳原子数4～20的杂环式烃基。R2表示氢原子、碳原子数1～18的烷基、碳原子数2～18的烯基、碳原子数2～18的炔基、或碳原子数6～18的芳基。R3表示碳原子数1～18的烃基(氢的一部分或全部可以被氟取代)]。

公开(公告)号：CN106795107B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201580054732.1

申请日：2015-10-13

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 冈昌明 ,  中村友治

IPC: C07C309/64 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  C08G59/68

Abstract: 本发明提供含有对i射线具有高的光灵敏度、耐热稳定性优异、在疏水性材料中的溶解性优异的磺酸酯化合物的非离子系光酸产生剂及含有该非离子系光酸产生剂的光刻用树脂组合物，本发明为一种磺酸酯化合物，其特征在于，由通式(1)表示。[式(1)中，R1表示碳原子数6～18的芳基或碳原子数4～20的杂环式烃基。R2表示氢原子、碳原子数1～18的烷基、碳原子数2～18的烯基、碳原子数2～18的炔基、或碳原子数6～18的芳基。R3表示碳原子数1～18的烃基(氢的一部分或全部可以被氟取代)]

公开(公告)号：CN119317618A

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202380047815.2

申请日：2023-07-20

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 中村友治 ,  尾原拓人 ,  木津智仁

IPC: C07C381/12 ,  C07C309/06 ,  C07C311/48 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  C09K3/00

Abstract: 提供一种当照射波长20nm以下的光线时即迅速地分解而产生酸的具有光感应性的新型的化合物。本发明的锍盐以下述式（1）表示。下述式中，Rf1、Rf2、Rf11以及Rf12相同或不同，表示氟原子或氟烷基。R1、R2、R3、R11、R12、R13、R21、R23以及R25相同或不同，表示氢原子、羟基、烷基或碘原子。R22、R24相同或不同，表示氢原子、羟基、烷基、碘原子、氟原子或氟烷基。X‑表示1价的抗衡阴离子。其中，选自R1、R2、R3、R11、R12、R13以及R21～R25中的至少1个表示碘原子。#imgabs0#

公开(公告)号：CN114901638B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202180007534.5

申请日：2021-01-04

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 中尾拓人 ,  中村友治

IPC: C07C381/12 ,  C07F7/18

Abstract: 本发明提供一种新的锍盐和新的光酸产生剂等，上述锍盐对活性能量射线、特别是i射线或h射线具有高光感应性，上述光酸产生剂是含有锍盐而成的，上述锍盐对i射线或h射线具有高光感应性，且向溶剂和环氧化合物等阳离子聚合性化合物的溶解性高，在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式(1)表示的锍盐和以含有该锍盐为特征的光酸产生剂等。#imgabs0#

公开(公告)号：CN114401975A

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202180005314.9

申请日：2021-05-07

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 赤泽庆彦 ,  木津智仁 ,  高桥龙辅 ,  中村友治 ,  木村秀基

IPC: C07F9/535 ,  C07C381/12 ,  C07C25/18 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明作为光产酸剂发挥功能，进而该光产酸剂通过与下述成分等组合提供一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，该成分是在通过照射光或电子射线等活性能量射线所产生的酸的作用下对碱的溶解性增大的树脂。本发明涉及一种鎓盐，其为通式(1)所示的鎓盐，其中，在阴离子结构的面式体和经式体这2种异构体中，面式体的比例为15.0重量％以下。[(R2)n+1‑E]+[(R1)3(F)3P]‑(1)。

公开(公告)号：CN114901638A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202180007534.5

申请日：2021-01-04

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 中尾拓人 ,  中村友治

IPC: C07C381/12 ,  C07F7/18

Abstract: 本发明提供一种新的锍盐和新的光酸产生剂等，上述锍盐对活性能量射线、特别是i射线或h射线具有高光感应性，上述光酸产生剂是含有锍盐而成的，上述锍盐对i射线或h射线具有高光感应性，且向溶剂和环氧化合物等阳离子聚合性化合物的溶解性高，在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式(1)表示的锍盐和以含有该锍盐为特征的光酸产生剂等。

公开(公告)号：CN108496113A

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201780007927.X

申请日：2017-02-23

Applicant: 三亚普罗股份有限公司

Inventor： 中村友治 ,  柴垣智幸

IPC: G03F7/004 ,  C09K3/00 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明的目的在于提供一种对i射线具有高感光度、耐热稳定性优异、对疏水性材料的溶解性及碱性显影性优异的非离子系光酸产生剂。本发明是非离子系光酸产生剂(A)以及含有该非离子系光酸产生剂(A)的光刻用树脂组合物(Q)，该非离子系光酸产生剂(A)的特征在于由下述通式(1)表示。 [式(1)中，X为二价的有机基团，Y为具有活性氢的官能团，R表示碳原子数1～18的烃基(氢的一部分或全部可被氟取代)。]。