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公开(公告)号：CN116018558A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202180046897.X
申请日：2021-06-02
申请人： 三亚普罗股份有限公司 , 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明采用含有含环氧基树脂与阳离子聚合引发剂的负型感光性树脂组合物，包含以下述通式(I0)表示的锍盐。式(I0)中，R1及R2表示芳基、杂环式烃基或烷基。R3～R5为烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环式烃基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基或卤素原子。k为0～4的整数，m为0～3的整数，n为1～4的整数。A是以‑S‑、‑O‑、‑SO‑、‑SO2‑或‑CO‑表示的基团。X‑表示一价的多原子阴离子。
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公开(公告)号：CN107075088B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201580056299.5
申请日：2015-11-24
申请人： 三亚普罗股份有限公司
摘要： 本发明提供一种在模具填充时流动性优异且催化活性高、固化性优异的环氧树脂固化促进剂。本发明为一种环氧树脂固化促进剂(Q)，其特征在于，含有由通式(1)所示的季(A)和通式(2)所示的有机羧酸(B)的阴离子构成的盐(S)以及通式(3)所示的有机酚化合物(C)。[式(1)中，R1～R3表示碳原子数6～12的芳基，R4表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数6～12的芳基。式(2)中，R5～R7相同或不同，各自表示羟基、羧基、氢或碳原子数1～4的烷基，R8表示羟基或羧基。式(3)中，R9～R11相同或不同，各自表示羟基、羧基、氢或者碳原子数1～4的烷基。]
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公开(公告)号：CN107075088A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580056299.5
申请日：2015-11-24
申请人： 三亚普罗股份有限公司
摘要： 本发明提供一种在模具填充时流动性优异且催化活性高、固化性优异的环氧树脂固化促进剂。本发明为一种环氧树脂固化促进剂(Q)，其特征在于，含有由通式(1)所示的季(A)和通式(2)所示的有机羧酸(B)的阴离子构成的盐(S)以及通式(3)所示的有机酚化合物(C)。[式(1)中，R1～R3表示碳原子数6～12的芳基，R4表示碳原子数1～8的烷基或碳原子数6～12的芳基。式(2)中，R5～R7相同或不同，各自表示羟基、羧基、氢或碳原子数1～4的烷基，R8表示羟基或羧基。式(3)中，R9～R11相同或不同，各自表示羟基、羧基、氢或者碳原子数1～4的烷基。]
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公开(公告)号：CN112888676A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201980067796.3
申请日：2019-10-25
申请人： 三亚普罗股份有限公司
发明人： 柴垣智幸
IPC分类号： C07D221/14 , C09K3/00 , G03F7/004
摘要： 本发明的目的在于提供对i线具有高感光度、在抗蚀剂溶液中的相容性和溶解性优异且耐热稳定性优异的非离子系光酸产生剂。本发明是一种非离子系光酸产生剂(A)，其特征在于，由下述通式(1)表示。[式(1)中，X表示氧原子或者硫原子，R1表示氢原子或者可具有羧酸基的碳原子数1～12的烷基，R2表示氢原子或者碳原子数1～12的烷基，Rf表示氢的一部分或全部被氟取代的碳原子数1～12的烃基。]
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公开(公告)号：CN108496113A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201780007927.X
申请日：2017-02-23
申请人： 三亚普罗股份有限公司
摘要： 本发明的目的在于提供一种对i射线具有高感光度、耐热稳定性优异、对疏水性材料的溶解性及碱性显影性优异的非离子系光酸产生剂。本发明是非离子系光酸产生剂(A)以及含有该非离子系光酸产生剂(A)的光刻用树脂组合物(Q)，该非离子系光酸产生剂(A)的特征在于由下述通式(1)表示。 [式(1)中，X为二价的有机基团，Y为具有活性氢的官能团，R表示碳原子数1～18的烃基(氢的一部分或全部可被氟取代)。]。
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