利用电弧制造发射器的设备和方法

    公开(公告)号:CN1822280A

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200510113376.4

    申请日:2005-10-11

    Inventor: 文昌郁 柳寅儆

    CPC classification number: H01J9/025

    Abstract: 提供了通过在真空室内部使电弧撞击晶片表面来制造发射器的方法和设备。所述设备包括:其中插入晶片的真空室;用于在所述真空室内部产生均匀磁场的磁场产生单元;用于在真空室内部形成与所述磁场平行的电场的电场产生单元;用于朝向晶片发射电子的主发射器。由主发射器发射的电子沿所述电场和磁场移动。控制所述电场的强度和主发射器的驱动电压,当所述电场或驱动电压超过阈值时产生电弧。由此,晶片的表面被电弧瞬时熔化并固化,由此在晶片的表面上形成具有尖锐尖端的发射器。

    利用二次电子的电子投影光刻装置

    公开(公告)号:CN1269187C

    公开(公告)日:2006-08-09

    申请号:CN200310102435.9

    申请日:2003-10-20

    Abstract: 本发明公开了一种利用二次电子的电子投影光刻装置。该装置包括:二次电子发射器,它与基板固定器间隔预定距离,在该二次电子发射器的朝向基板固定器的表面上形成已构图的掩模;一次电子发射器,它在二次电子发射器背对基板固定器的方向上与二次电子发射器间隔预定距离,并向二次电子发射器发射一次电子;第二电源,它在基板固定器和二次电子发射器之间施加预定电压;第一电源,它在二次电子发射器和一次电子发射器之间施加预定电压;和磁场发生器,它控制由二次电子发射器发射的二次电子的路径。

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