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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115863235A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211098595.X
申请日：2022-09-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供光学设备和对准检查光学设备。光学设备包括：折叠镜，其被配置为将第一照明光和第二照明光分别引导在第一对准标记和第二对准标记上并且分别在不同的水平方向上反射从第一对准标记和第二对准标记反射的第一反射光和第二反射光；第一透镜和第二透镜分别布置在从折叠镜的第一反射表面和第二反射表面反射的第一反射光和第二反射光的光路中；第一反射部分和第二反射部分，其被配置为分别反射穿过第一透镜和第二透镜的第一反射光和第二反射光；和分束器棱镜，其被配置为将通过第一表面入射的照明光划分成第一照明光和第二照明光并引导到第一反射部分和第二反射部分，并通过第二表面透射第一反射部分和第二反射部分反射的第一反射光和第二反射光。
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公开(公告)号：CN115870634A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211198019.2
申请日：2022-09-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/70 , H01L21/78 , B23K101/40
Abstract: 公开了一种用于切分衬底的方法和设备。该用于切分衬底的方法包括：设置用于在目标衬底内形成第一改造区的目标高度，目标高度是从目标衬底的上表面至第一改造区的距离；向包括第一膜和与第一膜接触的第二膜的第一样本衬底辐射激光束，并且基于致使在第一膜的与第二膜接触的上表面上形成激光束的会聚点的样本条件设置目标条件；以及根据目标条件用激光束辐射目标衬底，以在目标衬底内形成第一改造区，其中，第二膜的厚度是目标高度。
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公开(公告)号：CN117870550A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202310764926.7
申请日：2023-06-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01B11/02
Abstract: 提供了一种被配置为检测衬底的高度水平的水平传感器、以及包括该水平传感器的衬底处理装置。该水平传感器包括：测量光源，被配置为朝向衬底照射测量光；棱镜，被配置为将测量光的反射光分成第一偏振光和第二偏振光，并在第一偏振光和第二偏振光之间产生第一光程差；光程调制器，被配置为保持第一偏振光的光程恒定，并周期性地改变第二偏振光的光程；以及检测器，被配置为基于第一偏振光和第二偏振光之间的干涉信号来检测第一光程差。
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公开(公告)号：CN117168363A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310444142.6
申请日：2023-04-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01B11/27
Abstract: 一种使用管芯接合系统将管芯接合到晶片的方法，该方法使用所获得的显示干涉条纹的图像来测量管芯和晶片之间的平行度。在一些实施例中，使用由管芯接合系统的光学装置产生的干涉条纹来检测平行度和管芯变形。平行度测量光学装置包括：光源、被配置为控制参考光和测量光的偏振的光学组件。在一些实施例中，测量光顺序地入射到沿垂直方向间隔开以彼此面对的第一测量表面和第二测量表面上并从第一测量表面和第二测量表面上反射，并且出射以具有关于第一测量表面与第二测量表面之间的平行度的信息。在一些实施例中，第一偏振器被配置为使从光学组件出射的参考光和测量光彼此干涉。光检测器被配置为检测包括干涉条纹的光的干涉信号。
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公开(公告)号：CN110927839A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201910634279.1
申请日：2019-07-12
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 公开了一种光学重排器件，包括具有基本上六面体形状的光学块。光学块包括正面、顶面、第一侧面、底面、第二侧面和背面。顶面与底面平行。光学块被布置成使得当输入光束通过正面以与正面成直角的方式入射时，输入光束在顶面、底面、第一侧面和第二侧面中的每个面处被全反射，并且输出光束通过正面或背面以与正面或背面成直角的方式被输出。
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