公开(公告)号：CN117168363A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202310444142.6

申请日：2023-04-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朱祉映 ,  金亨珍 ,  徐敏焕 ,  朱愿暾 ,  具东胤 ,  裵祥佑 ,  安成敏 ,  李俊圭 ,  洪允杓

IPC: G01B11/27

Abstract: 一种使用管芯接合系统将管芯接合到晶片的方法，该方法使用所获得的显示干涉条纹的图像来测量管芯和晶片之间的平行度。在一些实施例中，使用由管芯接合系统的光学装置产生的干涉条纹来检测平行度和管芯变形。平行度测量光学装置包括：光源、被配置为控制参考光和测量光的偏振的光学组件。在一些实施例中，测量光顺序地入射到沿垂直方向间隔开以彼此面对的第一测量表面和第二测量表面上并从第一测量表面和第二测量表面上反射，并且出射以具有关于第一测量表面与第二测量表面之间的平行度的信息。在一些实施例中，第一偏振器被配置为使从光学组件出射的参考光和测量光彼此干涉。光检测器被配置为检测包括干涉条纹的光的干涉信号。