公开(公告)号：CN117870550A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202310764926.7

申请日：2023-06-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 张城豪 ,  裵祥佑 ,  徐敏焕 ,  成长云 ,  大久保彰律 ,  李昇祐 ,  李贞彻 ,  郑在晃 ,  洪尚俊

IPC: G01B11/02

Abstract: 提供了一种被配置为检测衬底的高度水平的水平传感器、以及包括该水平传感器的衬底处理装置。该水平传感器包括：测量光源，被配置为朝向衬底照射测量光；棱镜，被配置为将测量光的反射光分成第一偏振光和第二偏振光，并在第一偏振光和第二偏振光之间产生第一光程差；光程调制器，被配置为保持第一偏振光的光程恒定，并周期性地改变第二偏振光的光程；以及检测器，被配置为基于第一偏振光和第二偏振光之间的干涉信号来检测第一光程差。

公开(公告)号：CN112289696A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202010353965.4

申请日：2020-04-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李明俊 ,  金郁来 ,  郑在晃 ,  安明基

IPC: H01L21/66

Abstract: 提供了一种基于椭偏成像(IE)的检查方法以及制造半导体器件的方法。所述检查方法包括：从基于IE的检查装置的具有第一视场(FOV)的第一模式和具有第二FOV的第二模式中选择一种模式；基于所选择的模式通过所述基于IE的检查装置测量检查目标；以及基于测量结果确定所述检查目标是否正常，其中，所述的测量检查目标包括同时测量在所述检查目标的区域中设置的多个单元中包括的图案，所述区域对应于所选择的模式的FOV。

公开(公告)号：CN117091503A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202310570132.7

申请日：2023-05-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑西砚 ,  李升祐 ,  申因镐 ,  金郁来 ,  李明俊 ,  郑在晃

IPC: G01B11/00

Abstract: 一种半导体测量设备包括：照明单元，其被配置为提供包括具有不同波长的线性偏振光束的照明光；光学单元，其包括被配置为允许照明光入射于样本上的物镜，光学单元被配置为传输当照明光被从样本反射时生成的反射光；自干涉发生器，其被配置为针对每个波长使从光学单元传输的反射光自干涉并且将反射光传输至第一图像传感器；以及控制器。控制器被配置为处理由第一图像传感器输出的测量图像，以针对每个波长将测量图像划分为表示反射光的偏振分量的强度比的第一图像和表示反射光的偏振分量的相位差的第二图像。