公开(公告)号：CN119170514A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202410429338.2

申请日：2024-04-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李虎准 ,  成长云 ,  金郁来 ,  金亨珍 ,  朴升凡 ,  申俊呼 ,  李明俊

IPC: H01L21/66 ,  G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 一种示例半导体测量设备包括光源、图案生成器、台、图像传感器和控制器。光源被配置为输出预定波段中的光。图案生成器被配置为通过散射从光源输出的光来生成包括散斑图案的光。台设置在包括散斑图案的光的移动路径上，并且反射包括散斑图案的光的样品安置在台上。图像传感器被配置为接收从样品反射的光并且生成表示从样品反射的光的衍射图案的原始图像。控制器被配置为生成用于估计入射在图像传感器上的光的衍射特性的预测图像。

公开(公告)号：CN117870550A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202310764926.7

申请日：2023-06-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 张城豪 ,  裵祥佑 ,  徐敏焕 ,  成长云 ,  大久保彰律 ,  李昇祐 ,  李贞彻 ,  郑在晃 ,  洪尚俊

IPC: G01B11/02

Abstract: 提供了一种被配置为检测衬底的高度水平的水平传感器、以及包括该水平传感器的衬底处理装置。该水平传感器包括：测量光源，被配置为朝向衬底照射测量光；棱镜，被配置为将测量光的反射光分成第一偏振光和第二偏振光，并在第一偏振光和第二偏振光之间产生第一光程差；光程调制器，被配置为保持第一偏振光的光程恒定，并周期性地改变第二偏振光的光程；以及检测器，被配置为基于第一偏振光和第二偏振光之间的干涉信号来检测第一光程差。