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公开(公告)号：CN117810105A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311192706.8
申请日：2023-09-15
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种基板分析系统，包括：装载锁定模块，其被配置为装载或卸载其上形成有图案层的基板；研磨模块，其被配置为形成研磨表面，图案层的至少一部分从研磨表面被去除；深度测量模块，其被配置为测量形成在研磨表面上的分析区域的研磨深度；成像模块，其被配置为捕获分析区域的二维图像；以及控制模块，当研磨深度比设置的目标深度浅时，控制模块控制基板循环通过研磨模块、深度测量模块和成像模块，其中，研磨模块根据基于离子束的强度图接收的扫描轮廓来调整离子束的路径，使得离子束在研磨区域中水平地移动。
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公开(公告)号：CN117091503A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202310570132.7
申请日：2023-05-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种半导体测量设备包括：照明单元，其被配置为提供包括具有不同波长的线性偏振光束的照明光；光学单元，其包括被配置为允许照明光入射于样本上的物镜，光学单元被配置为传输当照明光被从样本反射时生成的反射光；自干涉发生器，其被配置为针对每个波长使从光学单元传输的反射光自干涉并且将反射光传输至第一图像传感器；以及控制器。控制器被配置为处理由第一图像传感器输出的测量图像，以针对每个波长将测量图像划分为表示反射光的偏振分量的强度比的第一图像和表示反射光的偏振分量的相位差的第二图像。
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公开(公告)号：CN103187030B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210574299.2
申请日：2012-12-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G09G3/00 , G09G3/20 , G09G3/3233
CPC classification number: G09G3/2003 , G09G3/003 , G09G3/2081 , G09G3/3233 , G09G2300/0861 , G09G2320/0252 , G09G2320/0271 , G09G2320/041 , G09G2320/0626 , G09G2330/021 , G09G2330/028 , G09G2340/16 , G09G2360/16
Abstract: 提供了一种显示图像的设备和方法，一种供电的设备和方法以及一种调整内容亮度的方法。显示图像的设备包括：像素值转换器，如果接收到图像的多个颜色像素值，则所述像素值转换器对接收的颜色像素值进行转换；显示面板，包括多个颜色发光器件并基于转换的颜色像素值来驱动所述多个颜色发光器件中的每一个；发光控制器，向显示面板提供控制信号，控制信号根据颜色可变地控制每个颜色发光器件的驱动时间；以及全局控制器，基于颜色和转换的颜色像素值来控制发光控制器调整控制信号的占空比。
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公开(公告)号：CN103187030A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210574299.2
申请日：2012-12-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G09G3/32
CPC classification number: G09G3/2003 , G09G3/003 , G09G3/2081 , G09G3/3233 , G09G2300/0861 , G09G2320/0252 , G09G2320/0271 , G09G2320/041 , G09G2320/0626 , G09G2330/021 , G09G2330/028 , G09G2340/16 , G09G2360/16
Abstract: 提供了一种显示图像的设备和方法，一种供电的设备和方法以及一种调整内容亮度的方法。显示图像的设备包括：像素值转换器，如果接收到图像的多个颜色像素值，则所述像素值转换器对接收的颜色像素值进行转换；显示面板，包括多个颜色发光器件并基于转换的颜色像素值来驱动所述多个颜色发光器件中的每一个；发光控制器，向显示面板提供控制信号，控制信号根据颜色可变地控制每个颜色发光器件的驱动时间；以及全局控制器，基于颜色和转换的颜色像素值来控制发光控制器调整控制信号的占空比。
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公开(公告)号：CN102243379A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110128026.0
申请日：2011-05-11
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H02J50/80 , H01F38/14 , H02J7/025 , H02J50/12 , H04N13/341 , H04N2213/008
Abstract: 提供了一种三维(3D)眼镜以及用于无线电力传输的系统。所述3D眼镜包括：镜框；谐振接收部分，包括接收传导线圈和用于无线充电的谐振电容；整流部分，对谐振接收部分产生的电压进行整流；充电部分，使用整流的电压对电池进行充电。所述镜框包括：第一镜腿、第二镜腿、第一镜片固定部分、第二镜片固定部分以及连接第一镜片固定部分和第二镜片固定部分的桥部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119170514A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202410429338.2
申请日：2024-04-10
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种示例半导体测量设备包括光源、图案生成器、台、图像传感器和控制器。光源被配置为输出预定波段中的光。图案生成器被配置为通过散射从光源输出的光来生成包括散斑图案的光。台设置在包括散斑图案的光的移动路径上，并且反射包括散斑图案的光的样品安置在台上。图像传感器被配置为接收从样品反射的光并且生成表示从样品反射的光的衍射图案的原始图像。控制器被配置为生成用于估计入射在图像传感器上的光的衍射特性的预测图像。
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公开(公告)号：CN115775714A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211053783.0
申请日：2022-08-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01L21/66
Abstract: 提供了扫描电子显微镜(SEM)装置和半导体制造装置。该SEM装置包括：电子束源，其被配置为发射电子束；透镜单元，其设置在电子束源与被配置为安置包括具有图案的结构的物体的台之间，并且包括扫描线圈和像散调节器，扫描线圈被配置为生成电磁场以提供透镜；以及控制单元。控制单元被配置为改变透镜单元与物体之间的工作距离以获得多个原始图像，从多个原始图像获得其中出现结构的图案图像和其中出现电子束在物体上的分布的多个核心图像，并且利用从多个核心图像提取的特征值来控制像散调节器调节透镜单元的聚焦和像散。
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公开(公告)号：CN110857917A
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201910418481.0
申请日：2019-05-20
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 描述了与基于结构照明(SI)的检查设备有关的系统和方法。基于SI的检查设备可以能够以高分辨率实时精确地检查检查对象，同时减少光的损失。还描述了检查方法，以及包括基于SI的检查方法的半导体器件制造方法。检查设备可包括：光源，配置为产生并输出光束；相移光栅(PSG)，配置为将来自光源的光束转换成SI；分束器，配置为使SI入射到检查对象上并输出来自检查对象的反射光束；台架，能够移动检查对象并且在其上布置检查对象；以及延时积分(TDI)相机，配置为通过检测反射光束来捕获检查对象的图像。
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公开(公告)号：CN110554005A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910128810.8
申请日：2019-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种能够在高分辨率下精确检查检查对象的同时执行高速检查的低成本数字全息显微镜(DHM)，一种利用DHM的检查方法和一种利用DHM制造半导体装置的方法。DHM包括：光源，其被构造为产生和输出光；分束器，其被构造为使得光入射到检查对象并且输出来自检查对象的反射光；以及检测器，其被构造为检测反射光，其中，当反射光包括干涉光时检测器产生干涉光的全息图，并且其中在从光源至检测器的路径上无透镜。
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