公开(公告)号：CN119492516A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202410900504.2

申请日：2024-07-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴艺恩 ,  李昇祐 ,  金泰重 ,  安晋佑 ,  郑西砚 ,  赵泰英

IPC: G01M11/02

Abstract: 一种光学测量系统包括：半球形镜，其包括平面部分和在平面部分中具有半球形凹陷形状的球形部分。在球形部分中，形成有具有与球形部分的其余部分不同的反射率的纬度标记。该系统包括具有物镜和至少一个分束器的光学单元。光学单元将从半球形镜反射的光通过物镜传输到第一传感器。控制器通过将半球形镜对准在物镜的焦点处、检测物镜的其中纬度标记表现为较暗的圆形线的后焦图像、以及对该图像执行计算，来测量物镜的数值孔径。

公开(公告)号：CN116263401A

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN202211559591.7

申请日：2022-12-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李昇祐 ,  金郁来 ,  金洸秀 ,  李明俊 ,  郑西砚 ,  张城豪

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/95 ,  H01L23/544

Abstract: 光学测量设备包括：光学系统，其利用光生成测量目标的光瞳图像；偏振生成器，其从光生成偏振光；自干涉生成器，其利用偏振光生成从光瞳图像分割的多个光束，并且使多个光束彼此干涉以生成自干涉图像；以及图像分析单元，其被配置为从自干涉图像提取相位数据，并且基于相位数据将测量目标移动到聚焦位置。

公开(公告)号：CN117091503A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202310570132.7

申请日：2023-05-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑西砚 ,  李升祐 ,  申因镐 ,  金郁来 ,  李明俊 ,  郑在晃

IPC: G01B11/00

Abstract: 一种半导体测量设备包括：照明单元，其被配置为提供包括具有不同波长的线性偏振光束的照明光；光学单元，其包括被配置为允许照明光入射于样本上的物镜，光学单元被配置为传输当照明光被从样本反射时生成的反射光；自干涉发生器，其被配置为针对每个波长使从光学单元传输的反射光自干涉并且将反射光传输至第一图像传感器；以及控制器。控制器被配置为处理由第一图像传感器输出的测量图像，以针对每个波长将测量图像划分为表示反射光的偏振分量的强度比的第一图像和表示反射光的偏振分量的相位差的第二图像。