公开(公告)号：CN109270070B

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN201810791488.2

申请日：2018-07-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 石川明夫 ,  小泽谦 ,  金洸秀 ,  S·朴 ,  沼田光徳

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95

Abstract: 本申请提供了一种成像装置和成像方法。该成像装置包括：照明光源，用于输出照明光；照明光学系统，用于将照明光朝向样品透射；成像光学系统，用于透射从样品反射的光；工作台，用于沿预定传送方向移动样品；以及拍摄单元，用于接收反射光。成像设备可以包括位于样品的共轭焦平面处的一个或多个衍射光栅。拍摄单元的操作可以与工作台对样品的移动同步，以根据时间延迟集成方法获得图像。

公开(公告)号：CN110857917A

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201910418481.0

申请日：2019-05-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李明俊 ,  小泽谦 ,  金郁来 ,  朴光植 ,  姜智薰 ,  金洸秀

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/13 ,  H01L21/66

Abstract: 描述了与基于结构照明(SI)的检查设备有关的系统和方法。基于SI的检查设备可以能够以高分辨率实时精确地检查检查对象，同时减少光的损失。还描述了检查方法，以及包括基于SI的检查方法的半导体器件制造方法。检查设备可包括：光源，配置为产生并输出光束；相移光栅(PSG)，配置为将来自光源的光束转换成SI；分束器，配置为使SI入射到检查对象上并输出来自检查对象的反射光束；台架，能够移动检查对象并且在其上布置检查对象；以及延时积分(TDI)相机，配置为通过检测反射光束来捕获检查对象的图像。

公开(公告)号：CN109270070A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201810791488.2

申请日：2018-07-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 石川明夫 ,  小泽谦 ,  金洸秀 ,  S·朴 ,  沼田光徳

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95

Abstract: 本申请提供了一种成像装置和成像方法。该成像装置包括：照明光源，用于输出照明光；照明光学系统，用于将照明光朝向样品透射；成像光学系统，用于透射从样品反射的光；工作台，用于沿预定传送方向移动样品；以及拍摄单元，用于接收反射光。成像设备可以包括位于样品的共轭焦平面处的一个或多个衍射光栅。拍摄单元的操作可以与工作台对样品的移动同步，以根据时间延迟集成方法获得图像。