公开(公告)号：CN101599306A

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200910145467.4

申请日：2009-06-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔仁镐 ,  崔云燮 ,  金成烈 ,  郭永起 ,  李载一 ,  张哲雄 ,  俞皓善 ,  梁仁秀 ,  张胜豪

IPC: G11C29/56

CPC classification number: G11C29/56 ,  G06F11/263

Abstract: 本发明提供一种场安装型测试装置和方法，所述装置和方法可以通过模拟包括安装环境的各种测试条件来增强产品的竞争力，从而提高存储器装置的品质可靠性，并通过使由于改变安装环境导致的整体损失最小化来减少测试时间并降低测试成本。根据示例实施例，场安装型测试装置可以包括：捕获系统，被构造为从由外部装置产生的信号中捕获信号数据，并被构造为将捕获的信号数据转换为测试逻辑数据；模式数据中心，被构造为存储测试逻辑数据；测试器主结构，被构造为利用存储在模式数据中心中的测试逻辑数据来测试被测装置(DUT)。

公开(公告)号：CN111948911B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。

公开(公告)号：CN117930592A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311391987.X

申请日：2023-10-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李寅载 ,  裵城庸 ,  尹大根 ,  崔仁镐 ,  金圣协 ,  金宜信 ,  金桢吉 ,  南艺彬 ,  李东镇 ,  李钟俱 ,  郑都铉 ,  郑东植

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/67

Abstract: 一种基板处理装置包括：在曝光腔室中的台，曝光腔室被配置为对半导体基板执行曝光工艺；引导器件，包括在第一水平方向上可滑动地移动的第一水平驱动体和在第一水平驱动体上并具有沟槽的导轨，导轨在第二水平方向上延伸；连接到引导器件的定位器件，该定位器件包括滑块、第二水平驱动体和基板台，滑块配置为沿着沟槽在第二水平方向上可滑动地移动，第二水平驱动体连接或固定到滑块，基板台在第二水平驱动体上并被配置为支撑半导体基板；以及在导轨和基板台之间的阻挡构件，以阻挡异物流入到基板台上。

公开(公告)号：CN111948911A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。

公开(公告)号：CN101599306B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN200910145467.4

申请日：2009-06-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔仁镐 ,  崔云燮 ,  金成烈 ,  郭永起 ,  李载一 ,  张哲雄 ,  俞皓善 ,  梁仁秀 ,  张胜豪

IPC: G11C29/56

CPC classification number: G11C29/56 ,  G06F11/263

Abstract: 本发明提供一种场安装型测试装置和方法，所述装置和方法可以通过模拟包括安装环境的各种测试条件来增强产品的竞争力，从而提高存储器装置的品质可靠性，并通过使由于改变安装环境导致的整体损失最小化来减少测试时间并降低测试成本。根据示例实施例，场安装型测试装置可以包括：捕获系统，被构造为从由外部装置产生的信号中捕获信号数据，并被构造为将捕获的信号数据转换为测试逻辑数据；模式数据中心，被构造为存储测试逻辑数据；测试器主结构，被构造为利用存储在模式数据中心中的测试逻辑数据来测试被测装置(DUT)。