公开(公告)号：CN115931890A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211189779.7

申请日：2022-09-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴钟彬 ,  金桢吉 ,  松田阳三 ,  李东协 ,  D·郑 ,  郑有轸 ,  郑殷憙 ,  朱愿暾 ,  崔珉硕

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/01 ,  G01N21/55 ,  G03F7/20

Abstract: 一种极紫外(EUV)收集器检查设备，包括：挡光盖，其覆盖待检查的EUV收集器的前表面并且提供其中外部光被阻挡的空间部分；空间部分中的光源，光源具有沿着EUV收集器的中心轴延伸的柱形，光源被配置为输出在紫外(UV)波段至可见光(VIS)波段范围内的辐射光；以及光谱仪，其位于光源上方并且被配置为检测辐射光从EUV收集器的前表面反射的反射光的光谱。设备或与其关联的控制器可被配置为基于反射光的光谱检查EUV收集器的前表面的污染状态。

公开(公告)号：CN111948911B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。

公开(公告)号：CN111948911A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。