公开(公告)号：CN107979909A

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201710993086.6

申请日：2017-10-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李东协 ,  成德镛 ,  禹济宪 ,  金俸奭 ,  李柱昊 ,  全允珖 ,  赵贞贤

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/3211 ,  H01J37/32119 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32183 ,  H01L21/67069 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4645 ,  H05H2001/4682

Abstract: 本发明构思的实施例提供天线、等离子体产生电路、等离子体处理装置以及用于使用其制造半导体器件的方法。电路包括产生射频功率的射频功率源、接收射频功率以产生等离子体并具有第一互感的天线、以及将天线分别连接到射频功率源的电感器。电感器具有减小和/或消除第一互感的第二互感。

公开(公告)号：CN107979909B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201710993086.6

申请日：2017-10-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李东协 ,  成德镛 ,  禹济宪 ,  金俸奭 ,  李柱昊 ,  全允珖 ,  赵贞贤

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明构思的实施例提供天线、等离子体产生电路、等离子体处理装置以及用于使用其制造半导体器件的方法。电路包括产生射频功率的射频功率源、接收射频功率以产生等离子体并具有第一互感的天线、以及将天线分别连接到射频功率源的电感器。电感器具有减小和/或消除第一互感的第二互感。

公开(公告)号：CN115931890A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211189779.7

申请日：2022-09-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴钟彬 ,  金桢吉 ,  松田阳三 ,  李东协 ,  D·郑 ,  郑有轸 ,  郑殷憙 ,  朱愿暾 ,  崔珉硕

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/01 ,  G01N21/55 ,  G03F7/20

Abstract: 一种极紫外(EUV)收集器检查设备，包括：挡光盖，其覆盖待检查的EUV收集器的前表面并且提供其中外部光被阻挡的空间部分；空间部分中的光源，光源具有沿着EUV收集器的中心轴延伸的柱形，光源被配置为输出在紫外(UV)波段至可见光(VIS)波段范围内的辐射光；以及光谱仪，其位于光源上方并且被配置为检测辐射光从EUV收集器的前表面反射的反射光的光谱。设备或与其关联的控制器可被配置为基于反射光的光谱检查EUV收集器的前表面的污染状态。