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公开(公告)号：CN102357733A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110227632.8
申请日：2005-04-13
申请人： 电子科学工业公司
CPC分类号： H01S3/117 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K2101/36 , B23K2103/50 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1611 , H01S3/1673 , H05K3/0026 , H05K3/0038
摘要： 通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120)，激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时，允许有额外的激光腔放电时间。
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公开(公告)号：CN101088196B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200580044852.X
申请日：2005-04-13
申请人： 电子科学工业公司
CPC分类号： H01S3/117 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K2101/36 , B23K2103/50 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1611 , H01S3/1673 , H05K3/0026 , H05K3/0038
摘要： 通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120)，激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时，允许有额外的激光腔放电时间。
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公开(公告)号：CN1582397B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN02822018.8
申请日：2002-11-01
申请人： 电子科学工业公司
CPC分类号： G01R1/02
摘要： 一种滚动接触器(1)，用于提供待测元件“DUT”(15)与滚动接触器(1)的支撑结构之间的电信号连通，所述滚动接触器包括：一导电圆形滚轮(3)，所述圆形滚轮有一外滚动面(5)及一内中央孔(9)，所述中央孔位于两分隔侧壁之间，以使滚轮滚动过待测元件(15)；至少一导电圆形管轴，所述管轴邻接并接触这些滚轮侧壁其中之一；一支撑轮轴(7)，用于轴向穿过形成于滚轮(3)内的中央孔(9)及所述管轴；一导电轮轴托架(21)，用于以旋转布置方式支撑轮轴(7)；一导电刷(59)，所述导电刷从轮轴托架(21)延伸并在旋转期间接触所述管轴；以及一导电长弹簧臂(27)，其在所述轮轴托架(21)与所述支撑结构之间延伸，以形成所述DUT(15)、滚轮(3)表面和所述管轴之间的电路径。
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公开(公告)号：CN1938837B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200480019718.X
申请日：2004-07-09
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： H01L21/46 , H01L21/301 , H01L21/78
CPC分类号： B23K26/0622 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2101/40 , B23K2103/52 , B28D5/0011 , H01L2224/16 , H01L2924/0102 , H01L2924/01067 , H01L2924/01068 , H01L2924/01077 , H01L2924/09701 , Y10S438/94
摘要： 一种形成具有尖锐断裂线(44)的划线(36)的方法，包括沿着陶瓷或类似陶瓷的衬底(10)引导UV激光束(14)，从而除去衬底(10)的厚度(24)的一部分。所述UV激光束在所述衬底中形成划线而不会使衬底发生明显的熔融，因而清晰确定的断裂线形成高应力集中区，该集中区延伸到衬底厚度内。因此，多个深度方向的裂纹会响应于施加到所述沟槽任一侧的分裂力，从而向所述高应力集中区中衬底的厚度方向延伸传播，使所述衬底整洁地分裂成单独的电路元件。这个集中区的形成便于以更高的精确度分裂所述衬底，同时在施加分裂力的期间和施加分裂力之后保持每个电路元件衬底内部结构的完整性。
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公开(公告)号：CN101088058B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200580015464.9
申请日：2005-05-12
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： G05D23/275
CPC分类号： G05B13/041
摘要： 本发明的优选实施例实现用于修改命令轨迹、伺服机构控制系统(10)的架构或这两者的技术，从而减少命令轨迹期间和/或命令轨迹之后的伺服误差。迭代精化过程产生伺服机构控制系统使用的校正输入du，其显著减少期望的(yd)和实际(y)的伺服机构控制系统输出之间的误差(e)。在一个实施例中，迭代精化过程中使用唯一识别的设备模型来计算提高精化过程的性能和可靠性的近似梯度。在另一实施例中，在迭代精化过程中使用实际的设备响应替代所述识别的模型。这是在向设备(12)施加存储的误差信号以产生对校正输入信号du的更新之前，通过将来自训练操作的存储误差信号进行时间反转完成的。
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公开(公告)号：CN101076805B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200580039094.2
申请日：2005-11-14
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： H05K3/0026 , B23K26/02 , B23K26/382 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K31/12 , B23K2101/42 , B23K2103/12 , B23K2103/172 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , H05K3/225 , H05K2201/09936 , H05K2203/163
摘要： 一种方法和系统(10)，其提高了在靶材的激光加工中加工的试样产量，其中所述靶材包括共衬底上形成的多个试样。优选实施例实现了一个能在激光加工系统中存储一列有缺陷试样的特征，所述有缺陷的试样在某种程度上在激光加工期间已经受到了错误的影响。一旦已经完全加工所述共衬底，系统警示操作员不适当加工试样的数量，并给予操作员运行软件程序(12)的机会，在一个优选实施例中，该软件程序使用激光在每个没有适当加工的试样的顶面上划上标记。
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公开(公告)号：CN1813339B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200480018419.4
申请日：2004-05-05
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： H01L21/268 , B23K26/08 , H01S3/00 , B23K26/38
CPC分类号： B23K26/06
摘要： 激光装置(126)及声光调制器(AOM)(10)以规律性及相同恒定高重复率的脉冲传送，以提供可变非照射间隔(50)的工作激光输出(40)，而不牺牲激光脉冲对脉冲能量稳定度。当要求工作激光输出(40)时，RF脉冲(38)与激光输出(24)重合施加于AOM(10)，以传送其至目标。当不要求工作激光输出(40)时，RF脉冲(38)与激光输出(24)非重合施加于AOM(10)，使其被阻隔。所以，不论如何随机要求工作激光输出(40)，AOM(10)上的平均热负载保持恒定。通过控制施加的RF脉冲(38)功率，AOM(10)也可以控制工作激光输出(40)的能量。当RF功率改变时，RF脉冲(38)的RF持续时间(44)被修改以保持恒定的平均RF功率。
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公开(公告)号：CN101142049B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200680008802.0
申请日：2006-02-15
申请人： 电子科学工业公司
CPC分类号： B23K26/04 , B23K2101/40
摘要： 一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法，其包含：扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，以移除由相关的材料处置子系统内的偏差所引入的系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染模型化，并利用样条函数以片段方式拟合该3D表面，以最小化局部偏差对整个表面拟合的影响。
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公开(公告)号：CN101103500A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200580046803.X
申请日：2005-11-21
申请人： 电子科学工业公司
CPC分类号： H01S3/082 , B23K26/0622 , H01S3/07 , H01S3/0805 , H01S3/08086 , H01S3/083 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/109 , H01S3/117 , H01S3/127 , H01S3/1611
摘要： 多个具有不同设计配置的次谐振器(12、14)共用共同的谐振器部分(18)，使得产生激光的动作能够大致上同步以提供相干激光脉冲，该相干激光脉冲合并由次谐振器(12、14)的配置所赋予的不同的各自的脉冲能量廓形和/或脉冲宽度特性。次谐振器(12、14)可共用位于共同部分内的激光介质(42)，或者每个不同的次谐振器部分(28、36)具有其本身的激光介质(42)。示例性长次谐振器(12)和短次谐振器(14)产生特别修整过的激光脉冲，在一个波长或是两个不同波长上，此修整过的激光脉冲具有短上升时间和长脉冲宽度，这对于包括存储器链路处理在内的各种激光和微机械加工应用是大有益处的。
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公开(公告)号：CN101099226A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200580046342.6
申请日：2005-11-29
申请人： 电子科学工业公司
IPC分类号： H01L21/26
CPC分类号： B23K26/067 , B23K26/0673
摘要： 激光束切换系统(50)应用耦合到光束切换装置(58)的激光器(52)，这种激光切换装置使得激光束在第一和第二光束定位头之间切换，这样当第一光束定位头(60)正在引导激光束加工工件目标位置时，第二光束定位头(62)同时移动到另外一个目标位置，反之亦然。优选的光束切换装置包括第一和第二AOM。当施加RF到第一AOM(72)时，激光束向第一光束定位头衍射，并且当施加RF到第二AOM(74)时，激光束向第二光束定位头衍射。工件加工系统(120)使用一个通用模块化成像光学组件(122)和一个可选的可变光束扩展器(94)来对多个激光束进行光学处理。
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