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高能量脉冲抑制方法
摘要:
通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差,激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120),激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时,允许有额外的激光腔放电时间。
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