发明授权
CN101088196B 高能量脉冲抑制方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 高能量脉冲抑制方法
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申请号: CN200580044852.X申请日: 2005-04-13
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公开(公告)号: CN101088196B公开(公告)日: 2011-11-30
- 发明人: K·格兰特 , S·斯通 , B·尼尔森
- 申请人: 电子科学工业公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: 电子科学工业公司
- 当前专利权人: 电子科学工业公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 赵蓉民
- 优先权: 10/997,586 2004.11.24 US
- 国际申请: PCT/US2005/012517 2005.04.13
- 国际公布: WO2006/057660 EN 2006.06.01
- 进入国家日期: 2007-06-25
- 主分类号: H01S3/11
- IPC分类号: H01S3/11 ; H01S3/115 ; H01S3/117 ; H01S3/00
摘要:
通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差,激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120),激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时,允许有额外的激光腔放电时间。
公开/授权文献
- CN101088196A 高能量脉冲抑制方法 公开/授权日:2007-12-12