公开(公告)号：CN1813339A

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200480018419.4

申请日：2004-05-05

申请人： 电子科学工业公司

发明人： 孙云龙 ,  B·E·尼尔森 ,  D·M·海明威 ,  孙蕾

IPC分类号： H01L21/268 ,  B23K26/08 ,  H01S3/00 ,  B23K26/38

CPC分类号： B23K26/06

摘要： 激光装置(126)及声光调制器(AOM)(10)以规律性及相同恒定高重复率的脉冲传送，以提供可变非照射间隔(50)的工作激光输出(40)，而不牺牲激光脉冲对脉冲能量稳定度。当要求工作激光输出(40)时，RF脉冲(38)与激光输出(24)重合施加于AOM(10)，以传送其至目标。当不要求工作激光输出(40)时，RF脉冲(38)与激光输出(24)非重合施加于AOM(10)，使其被阻隔。所以，不论如何随机要求工作激光输出(40)，AOM(10)上的平均热负载保持恒定。通过控制施加的RF脉冲(38)功率，AOM(10)也可以控制工作激光输出(40)的能量。当RF功率改变时，RF脉冲(38)的RF持续时间(44)被修改以保持恒定的平均RF功率。

公开(公告)号：CN1813339B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200480018419.4

申请日：2004-05-05

申请人： 电子科学工业公司

发明人： 孙云龙 ,  B·E·尼尔森 ,  D·M·海明威 ,  孙蕾

IPC分类号： H01L21/268 ,  B23K26/08 ,  H01S3/00 ,  B23K26/38

CPC分类号： B23K26/06

摘要： 激光装置(126)及声光调制器(AOM)(10)以规律性及相同恒定高重复率的脉冲传送，以提供可变非照射间隔(50)的工作激光输出(40)，而不牺牲激光脉冲对脉冲能量稳定度。当要求工作激光输出(40)时，RF脉冲(38)与激光输出(24)重合施加于AOM(10)，以传送其至目标。当不要求工作激光输出(40)时，RF脉冲(38)与激光输出(24)非重合施加于AOM(10)，使其被阻隔。所以，不论如何随机要求工作激光输出(40)，AOM(10)上的平均热负载保持恒定。通过控制施加的RF脉冲(38)功率，AOM(10)也可以控制工作激光输出(40)的能量。当RF功率改变时，RF脉冲(38)的RF持续时间(44)被修改以保持恒定的平均RF功率。

公开(公告)号：CN101099226A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200580046342.6

申请日：2005-11-29

申请人： 电子科学工业公司

发明人： D·R·卡特拉 ,  B·W·伯德 ,  R·S·哈瑞斯 ,  D·M·海明威 ,  H·罗 ,  B·E·尼尔森 ,  Y·尾峪 ,  L·孙 ,  Y·孙 ,  M·A·安瑞斯

IPC分类号： H01L21/26

CPC分类号： B23K26/067 ,  B23K26/0673

摘要： 激光束切换系统(50)应用耦合到光束切换装置(58)的激光器(52)，这种激光切换装置使得激光束在第一和第二光束定位头之间切换，这样当第一光束定位头(60)正在引导激光束加工工件目标位置时，第二光束定位头(62)同时移动到另外一个目标位置，反之亦然。优选的光束切换装置包括第一和第二AOM。当施加RF到第一AOM(72)时，激光束向第一光束定位头衍射，并且当施加RF到第二AOM(74)时，激光束向第二光束定位头衍射。工件加工系统(120)使用一个通用模块化成像光学组件(122)和一个可选的可变光束扩展器(94)来对多个激光束进行光学处理。